Инструменты нанотехнологий

P-300 Pro Picosun. Установка для атомно-слоевого осаждения материалов

ООО «Серния» представляет P-300 Pro — оборудование для одиночной или пакетной обработки подложек диаметром до 300 мм для серийного производства в области атомно-слоевого осаждения материалов.

Оборудование серии Picosun для крупносерийного производства отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для атомно-слоевого осаждения материалов.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Характеристики P-200 Pro:
Имеет 6 вводов прекурсоров/ до 12 реагентов
Тип и размер подложек:
  • одиночные пластины макс. 300 мм;
  • 200 мм пластины в пакетах по 25 шт;
  • 150 мм пластины в пакетах по 50 шт;
  • 100 мм пластины в пакетах по 75 шт;
  • образцы с высоким аспектным соотношением размеров
Возможно объединение в кластер с Picoplatform
Загрузочный шлюз с магнитным ручным манипулятором; полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного манипулятора; покассетная загрузка в кластерном оборудовании; пакетная загрузка с механическим вращением; вакуумная пакетная загрузка; загрузка из N2 шкафа.
Размеры:160х80х240 см
Вес 820 кг

Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология АСО является наиболее перспективной, так как с помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких покрытий практически на любые типы поверхностей.

Информация предоставлена Серния Инжиниринг, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ