Инструменты нанотехнологий

P-1000 Pro Picosun. Установка для атомно-слоевого осаждения материалов

ООО «Серния» представляет P-1000 Pro Picosun – оборудование для пакетной обработки подложек диаметром до 450 мм для крупносерийного производства в области атомно-слоевого осаждения материалов.

Оборудование серии Picosun для крупносерийного производства отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Характеристики P-1000 Pro:
Имеет 8 вводов прекурсоров / до 12 реагентов
Тип и размер подложек:
  • 450 мм пластины в пакетах по 40 шт;
  • 300 мм пластины в пакетах по 80 шт;
  • 200 мм пластины в пакетах по 12 х 25 шт;
  • 156 мм x 156 мм кремниевые пластины для фотовольтаики в пакетах по 800/1000 шт;
  • листы стекла размером до 400 мм x 600 мм в пакетах по 30-50 шт;
  • трехмерные объекты;
  • порошки и образцы, содержащие частицы;
  • образцы с глухими и сквозными порами;
  • образцы с высоким аспектным соотношением.
Возможно объединение в кластер с Picoplatform
Пневматический загрузчик (ручная загрузка посредством вилочного погрузчика), загрузка с помощью промышленного робота.
Размеры:230х270х125 см
Вес 2000 кг

Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология АСО является наиболее перспективной, так как с помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких покрытий практически на любые типы поверхностей.

Информация предоставлена Серния Инжиниринг, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ