Национальная нанотехнологическая сеть

  • Показать карту

Общество с ограниченной ответственностью «Бенек» (Beneq)

Beneq. Оборудование

Beneq-Glaston TFC2000™. Автономная система непрерывного производства стекла с TCO-покрытием

Производитель: Beneq Oy

Рубрикатор: Синтез наноматериалов

Установка Beneq-Glaston TFC2000™ предназначена для непрерывного производства стекла с TCO-покрытием для солнечной энергетики.

P400A/P800. Установка для промышленного использования атомно-слоевого осаждения

Производитель: Beneq Oy (Финляндия)

Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение

Установка P400A является общей платформой для процессов атомно-слоевого осаждения на объемные подложки и полупроводниковые пластины. Идея микроклимата предоставляет множество степеней свободы. Процесс обработки может быть автоматизирован, если объемы или размеры партии позволяют это сделать, а размеры подложки могут варьироваться от партии к партии. Становится возможным использование одной установки для различных процессов без перекрестного загрязнения, что достигается при помощи использования специальной упаковки подложек и отвода исходного реагента.

4

TFS200. Лабораторно-промышленная система для формирования тонких пленок на основе ALD-технологий

Производитель: Beneq Oy (Финляндия)

Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение

TFS200 — ALD система, предназначенная для исследовательских и опытно-промышленных целей. Позволяет наносить различные покрытия на основе органических и неорганических материалов на плоские подложки и на сложные 3D структуры. В качестве источников реагентов могут использоваться газы, жидкости или твердые материалы.

2

TFS500. Лабораторно-промышленная система для формирования тонких пленок на основе ALD-технологий

Производитель: Beneq Oy (Финляндия)

Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение

TFS500 — ALD система, предназначенная для исследовательских и опытно-промышленных целей. Позволяет наносить различные покрытия на основе органических и неорганических материалов на плоские подложки и на сложные 3D структуры. В качестве источников реагентов могут использоваться газы, жидкости или твердые материалы.

5

WCS 500. Рулонные технологии для ALD

Производитель: Beneq Oy (Германия)

ООО «Бенек» предлагает оборудование для нанесения покрытия на рулонные материалы по технологии атомно-слоевого осаждения WCS 500.