Национальная нанотехнологическая сеть

  • Показать карту

Учреждение Российской академии наук Физико-технологический институт РАН (ФТИАН)

  • Регион:
  • Адрес:
    • 117218, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 36/1
  • Сайт:

ФТИАН. Карточка организации

Физико-технологический институт (ФТИАН) — институт Отделения информационных технологий и вычислительных систем Российской академии наук. Cоздан в 1988 году на базе на базе Отдела микроэлектроники Института общей физики АН СССР.

Институт был создан для решения фундаментальных физико-технологических проблем субмикронных структур сверхбольших и сверхскоростных интегральных схем на основе развития субмикронной литографии, математического моделирования технологических процессов, разработки вакуумных и плазменных методов создания тонких пленок и их микроструктурирования, разработки и исследования субмикронных приборов микроэлектроники.

Подробнее...