Национальная нанотехнологическая сеть

  • Показать карту

Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ»

ЗАО «НТ-МДТ». Оборудование

12

НАНОЭДЬЮКАТОР II. Атомно-силовой микроскоп для практических занятий по нанотехнологиям

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Атомно-силовые микроскопы

NANOEDUCATOR II — новое поколение учебно-научных комплексов для преподавания основ нанотехнологии.

72

НАНОЭДЮКАТОР. Учебный микроскоп для проектной и исследовательской деятельности учащихся.

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Атомно-силовые микроскопы, Сканирующие зондовые микроскопы, Сканирующие туннельные микроскопы

НАНОЭДЮКАТОР (Nanoeducator) — это учебный микроскоп для проектной и исследовательской деятельности школьников старших классов, кадетов и учебной деятельности студентов и курсантов в Высших учебных заведениях по дисциплинам естественно-научного блока знаний.

75

НаноФаб 100. Модульная технологическая платформа для формирования нанотехнологических комплексов

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы

НаноФаб 100 — сверхвысоковакуумный научно-технологический комплекс, предназначенный для разработки и создания элементов наноэлектроники, а также для проведения фундаментальных исследований в этой области.

НаноФаб 100: Кластер сверхвысоковакуумных нанолокальных технологий

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Ионно-лучевая обработка

Особенностью сверхвысоковакуумного кластера нанолокальных технологий является проведение процессов с применением фокусированных ионных пучков в условиях сверхвысокого вакуума, что обеспечивает предельную чистоту поверхности формируемых структур.

51

НаноФаб 100: Высоковакуумный кластер нанолокальных и групповых технологий

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы

Особенностью высоковакуумного кластера нанолокальных и групповых технологий является проведение нанолокальных стимулированных процессов газофазного осаждения/травления.

53

НаноФаб 100: Кластер плазменных технологий

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Плазмохимическое травление, Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы

Кластер плазменных технологий предназначен для осуществления операций очистки, травления и осаждения.

51

НаноФаб 100: Кластер молекулярно-лучевой эпитаксии

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Молекулярно-лучевая эпитаксия

Кластер молекулярно-лучевой эпитаксии предназначен для эпитаксиального роста классических соединений типа AIIIBV и полупроводниковых гетероструктур на основе нитридов III-й группы на подложках диаметром до 100 мм.

61

НАНОФАБ 25. Модульная аналитико-технологическая платформа

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы, Плазмохимическое травление, Оже-электронная спектроскопия, Реактивное ионное травление

Модульная аналитико-технологическая платформа НАНОФАБ 25 предназначена для формирования нанотехнологических комплексов, позволяющих не только получать наноструктуры на подложках диаметром до 25 мм, но и проводить их физико-химический анализ.

НАНОФАБ 25. Модуль плазмохимического осаждения из газовой фазы (ПХГФО)

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы, Плазмохимическое травление

Модуль плазмохимического осаждения из газовой фазы (модуль ПХГФО) платформы НАНОФАБ 25 предназначен для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы и плазмохимического травления. Также возможно производить селективное травление материалов через заблаговременно сформированную маску с целью создания заданного топологического рисунка. В качестве образцов, подвергающихся плазменной обработке, могут быть использованы подложки широкого спектра материалов, используемых в микро- и наноэлектронике.

НАНОФАБ 25. Модуль электронно-ионной спектроскопии (ЭИС)

Производитель: НТ-МДТ (Россия)

Рубрикатор: Научно-исследовательские комплексы, Оже-электронная спектроскопия, Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия

Модуль электронно-ионной спектроскопии предназначен для анализа образцов размерами до 10×10×8 мм в условиях сверхвысокого вакуума (до 1.2×10-10 мбар).