Каталог товаров

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 1

Поставщик: БИНОМ, Издательство Ключевые слова: СМИ, книги по нанотехнологиям

В книге изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники, дана классификация технологических процессов, сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий.

  • Авторы/составители: Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П.
  • Редактор: Коркишко Ю.Н.
  • дата выпуска: 2010 г.
  • количество страниц: 392 стр.
  • ISBN: 978-5-9963-0335-9

Особое внимание в книге уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы воздействия электрических полей и излучений на некоторые из этих процессов.

Разделение издания на 2 тома обусловлено большим объемом материала, при этом каждый из томов может представлять вполне самостоятельный интерес.

Книга предназначена для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.

  • Теги