Инструменты нанотехнологий

Zeiss SIGMA. Серия сканирующих электронных микроскопов

Серия сканирующих электронных микроскопов SIGMA, характерной особенностью которых является использование технологии GEMINI — технологии, обеспечивающей выдающееся качество изображения и точные аналитические результаты среди всех автоэмиссионных микроскопов с возможностью работы с материалами любого типа.

GEMINI — это электронно-оптическая колонна, представляющая собой непревзойденную по легкости управления конструкцию, способную обеспечивать великолепное изображение при низком рабочем напряжении и сверхстабильном токе пучка при проведении аналитических исследований.

Анализ материалов с получением изображения высокого разрешения обеспечивается за счет передовой геометрии колонны, как при использовании методики энергодисперсионной спектрометрии (EDS), так и при использовании волновой спектрометрии (WDS).

На новом электронном микроскопе SIGMA можно исследовать образцы диаметром до 250 мм и длиной до 145 мм. Кроме того, сопланарное размещение портов камеры микроскопа обеспечивает идеальную геометрию для одновременной работы (EDS) и детектора обратно рассеянных электронов (EBSD).

Основные технические характеристики Zeiss SIGMA
Пространственное разрешение 1.3 нм при 20 кВ
1.5 нм при 15 кВ
2,8 нм при 1 кВ
Источник электронов Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа)
Диапазон ускоряющих напряжений от 100 В до 30 кВ
Диапазон рабочего тока 4 пА — 20 нА (40 нА — опционально)
Диапазон увеличений 12х — 1 000 000х
Аналитические приставки — опции EDS (рабочее расстояние — 8,5 мм)
EBSD (в одной плоскости с EDS)
WDS (всех типов)
Встроенные детекторы Стандартно:
In-lens детектор
ETSE детектор

Опционально:
BsE детектор
AsB детектор
STEM детектор
SCD детектор тока образца
Рабочая камера Диаметр 365 мм, высота 270 мм;
Находящиеся в одной плоскости порты для EBSD и EDS;
Порт для WDS — стандартно
Моторизованный 5-осевой столик для образцов X = 125 мм, Y = 125 мм, Z = 50 мм, наклон 0–90º, вращение 360º;
Положение контролируется мышью или опциально джойстиком с панели микроскопа
Графика Разрешение не хуже 3072 на 2304 пикселей;
Сигнал получается суммарный и усредненный
Отображение 1 или 2 (опция) монитора обеспечивают достоверное двухканальное изображение
Управление SmartSEM GUI под управлением Multilingual Windows® XP, управляемый мышью и клавиатурой
Необходимые требования Напряжение 100 – 230 В, 50 – 60 Гц;
Компрессор для воздуха;
Водяное охлаждение

Информация предоставлена ООО «ОПТЭК» (Карл Цейсс)

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ