Инструменты нанотехнологий

Zeiss Neon® 60. Аналитический автоэмиссионный электронный микроскоп

Аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур, нанопрепарирования, электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии, инспекционных целей и подготовки сверхтонких срезов для исследований методами ПЭМ.

Система Zeiss Neon® 60 представляет собой комбинацию автоэмиссионной электронно-оптической колонны GEMINI и автоэмиссионной ионной колонны, сфокусированных в единую точку фокуса. В серии реализованы самые последние достижения в области электронной и ионной оптики для применения во всех областях исследований, связанных с нанотехнологиями.

Электронно-оптическая колонна GEMINI использует уникальную комбинациюдетекторов для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометрическом масштабе. При этом GEMINI гарантирует исключительное качество изображения, потрясающий контраст и несравнимую чистоту.

Ионная колонна позволяет получать великолепные изображения структуры материала с учетом его химического состава. Комбинация двух высокоразрешающих колонн в едином приборе дает пользователям не имеющий прямых аналогов инструмент для наноманипулирования на высоких и сверхвысоких увеличениях. Все процессы, производимые ионным лучом или микро/наноманипулятором, наблюдаются в режиме on-line. Пользователь сам определяет момент и степень своего участия в процессе.

В системе Neon® 60 используются три интегрированные системы детектирования сигнала:

  • встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) для изучения топографии поверхности на предельных разрешениях;
  • встроенный в камеру детектор обратно рассеянных электронов, дающий картины поверхности с отображением химического контраста на сверхразрешениях;
  • встроенный детектор вторичных электронов.

А также три режима работы:

  • сверхразрешающий автоэмиссионный РЭМ;
  • ионный микроскоп;
  • комбинированный режим (манипулирование ионным лучом с наблюдением в электронном пучке).

Помимо уникальных по разрешению и выдающихся по качеству изображений (топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карт разориентации кристаллов, карты ориентации магнитных доменов и т.п.), пользователи получают возможность заглянуть внутрь образца без нарушения его естественной структуры. Какой бы ни была поставленная задача — работа с металлами, инспекция полупроводниковых приборов, прецизионное препарирование биологических образцов, анализ слоистых структур, исследования керамик и полимеров, электронная или ионная литография, модификация ультрамалых структур (образцов), ионное травление/осаждение и даже 3D анализ — Neon® 60 уже рассчитан на ее решение.

Рабочая камера Neon® 60 рассчитана на подключение основных аналитических систем энергодисперсионного спектрометра, квадроупольного масс-спектрометра, системы регистрации дифракции, системы катодолюминесценции. Как правило, любые дополнительные системы доступны по запросу пользователя.

Используя Neon® 60, Вы получаете все преимущества легендарной технологии GEMINI, высокопроизводительную ионную колонну, сверхчувствительные детекторы для исследования композиционного состава, идеальный измерительный инструмент, лучший из существующих препаратор образцов для просвечивающей микроскопии, литограф и микроанализатор — т.е. несравнимо больше, чем просто микроскоп.

  Электронная колонна Ионная колонна
Основные технические характеристики Zeiss Neon® 60
Пространственное разрешение 1.1 нм при 20 кВ
2.5 нм при 1 кВ
7 нм при 30 кВ (гарантировано)
5 нм (достижимо)
Диапазон увеличений 20х — 900kх 600х — 500kх
Диапазон рабочих токов 4 пА — 20 нА 1 пА — 50 нА
Диапазон ускоряющих напряжений 0,1–30 kВ 2–30 kВ
Источник электронов/ионов Автоэмиссионный (термоэмиссионного типа)
Стабильность лучше, чем 0.2% в час
Автоэмиссионный Ga (LMIS)
Встроенные детекторы 1) BSE
2) In-lens SE
3) Детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли
4) ИК-камера для обзора рабочей камеры

QMS, STEM, EDS, CL, другие разновидности BSD — опционально
Рабочая камера
(типы и параметры столиков могут быть изменены под заказ)
Диаметр 520 мм,
высота 300 мм

Столик:
X/Y = 152 мм,
Z = 43 мм,
наклон -15° ÷ +65°,
вращение 360°

Опционально (комплектация зависит от окончательной конфигурации):
Подключение микроанализа: EDS, WDS, EBSD, CL
Подключение литографии
Вакуумная система Полностью безмаслянная
Газовая система Система микроподачи газовых смесей (на 5 резервуаров одновременно) — для ионного травления, резки, осаждения и иных операций.
Дополнительные системы Встроенная антивибрационная подвеска
Графика С разрешением не хуже 3072 х 2304 пикселей
Отображение 2 ж/к монитора профессиональной серии с диагональю 19"
Печать изображений Любой принтер, совместимый с Windows®
Управление SmartSEM™ под управлением Windows®, управляемый манипулятором «мышь», клавиатурой, джойстиками и, опционально, с помощью выносной панели

Информация предоставлена ОПТЭК (ZEISS Group)

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ