Инструменты нанотехнологий

VELA 3 FIBxSEM. Сканирующий электронный микроскоп, оснащенный колонной со сфокусированным ионным пучком

Сканирующий электронный микроскоп со сфокусированным ионным пучком, максимально большой камерой, высоким и переменным вакуумом в камере. VELA FIBxSEM — это удобное сочетание электронной и ионной колонн на одной камере. Возможность модификации поверхности сфокусированным ионным пучком расширяет границы применения сканирующего электронного микроскопа.

Характеристики электронной колонны (SEM)

  • Уникальная четырехлинзовая электронная оптика Wide Field Optics™ с промежуточной линзой для оптимизации формы и размера пучка, запатентованная компанией Tescan, предназначена для получения изображений в различных режимах.
  • Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями.
  • Исследование непроводящих образцов в их естественном состоянии при переменном давлении в камере образцов.
  • Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.
  • Уникальное «живое» стереоскопическое изображение, использующее 3D Beam Technology, открывает удивительные возможности для 3D исследований микро- и нано-миров.
  • Возможность удаленного доступа по сети для управления, настройки и диагностики входит в стандартную поставку программного обеспечения.
  • Полностью моторизованный по 5-ти осям компуцентрический столик образцов с максимально широким диапазоном перемещений.

Характеристики ионной колонны (FIB)

  • Ионная колонна с уникальной оптикой, откачивающаяся двумя независимыми ионными насосами для уменьшения эффекта рассеяния.
  • Моторизованный механизм высокой точности для смены апертур.
  • Прерыватель зонда и ячейка Фарадея в стандартной комплектации.
  • Получение SEM-изображения во время процесса ионной литографии.
  • Управление ионной колонной интегрировано в ПО микроскопа.
  • Программные средства для создания сложных литографических шаблонов с настраиваемыми параметрами выдержки.

Характеристики системы инжектирования газов (GIS)

  • Геометрически идеальное сочетание с колонной микроскопа и ионной колонной.
  • 5 независимых резервуаров с газом.
  • Автоматизированное перемещение форсунок по 3-м осям.
  • Автоматизированный контроль температуры.

Информация предоставлена ЗАО «Экситон Аналитик»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ