Инструменты нанотехнологий

V400CE™ FEI Company. Система фокусированного пучка ионов

ЗАО «Нанопромимпорт» предлагает систему фокусированного пучка ионов V400CE™ FEI Company.

V400CE™ — высокопроизводительная, высокоскоростная, высокопрецизионная система для анализа, обработки и визуализации поверхности образцов с возможностью модификации и нанофабрикации микроэлектронных компонентов как на поверхности образца, так и с обратной стороны; возможность быстрого анализа дефектов и отказов.

Особенности:

  • высокопроизводительный генератор образа для ионно-лучевой литографии;
  • высокопрецизионный 5-ти осевой столик с пьезо-приводом;
  • инновационная ионная колонна Tomohavk с разрешением — не менее 4,5 нм;
  • ICE детектор вторичных ионов и электронов;
  • система подачи процессных газов для системы газовой инжекции;
  • быстрое, точное получение срезов позволяет обнаруживать дефекты и подповерхностную структуру;
  • быстрая пробоподготовка и 3-D реконструкция

Система фокусированного пучка ионов V400CE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и обнаружения конечной точки для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного редактирования передовых интегральных схем. Редактирование схем позволяет производителям продуктов развести проводящие цепи и протестировать измененные схемы в течение считанных часов, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин.

Ионная колонна Tomahawk
Tomahawk обеспечивает непревзойденные универсальные возможности при бесперебойной работе 30 кВ до 2 кВ. Высокая плотность тока при травлении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.
Система газоподачи NanoChemix
Инструменты для редактирования схем с помощью сфокусированного ионного пучка используют управляемую подачу контролируемого количества специальных газов, которые вводятся вблизи пучка и поверхности образца для повышения скорости и селективности процесса травления и передачи проводящих и изолирующих материалов в точно контролируемые области поверхности образца. Инновационная система поставки газа увеличивает гибкость редактирования с регулировкой давления и использованием широкого спектра твердых, жидких или газообразных материалов-прекурсоров.
Детекторование по конечной точке
Синхронное и автоматически масшабируемое снятие сигналов вторичных электронов и тока через образец обеспечивает надежное и точное определение «конечной точки», когда процедура травления достигает своей цели.

Информация предоставлена Нанопромимпорт, ЗАО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ