Инструменты нанотехнологий

SPS-2800 (SPS-2800-PLUS). Полуавтоматическая зондовая станция

Полуавтоматическая зондовая станция SPS-2800 (SPS-2800-PLUS) с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств.

Зондовая станция SPS-2800 является главной моделью линейки зондовых станций от MicroXact Inc. и представляет собой гибкий и легкий в использовании инструмент для проведения зондовых измерений. Система обеспечивают высокий уровень возможностей. Опции системы — такие, как охлаждаемый или нагреваевый вакуумный держатель пластин, стандартный или цифровой микроскоп, программируемый столик с индексацией — обеспечивают большую гибкость зондовой станции.

Зондовая станция SPS-2800 сконструирована для DC, RF и ёмкостных измерений, однако станция также может быть сконфигурирована для температурных и светочувствительных измерений и высоко частотных измерений. Станция полностью готова к апгрейду и возможности конфигурации под любые требования заказчиков.

Описание системы

Характеристики станции:
Тестирование на пластинах до 200 мм (8 дюйма)
4 манипулятора зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации (до 10 шт)
Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием и высокомощным LED осветителем
VXM моторизованный столик для перемещения по осям XY
  Диапазон перемещения по XY до 200х200 мм
  Разрешение перемещения столика по XY — ±3,2 мкм (±0,8 мкм — SPS-2800-PLUS)
  Повторяемость — <6 мкм (<2 мкм — SPS-2800-PLUS)
  Точность — <25 мкм (<10 мкм — SPS-2800-PLUS)
Перемещение по Z моторизовано
  Перемещение по Z — 12,7 мм
  Разрешение перемещения по Z — ±0,8 мкм (±0,2 мкм — SPS-2900-PLUS)
  Повторяемость по Z — <1,5 мкм (<1 мкм — SPS-2800-PLUS)
  Точность — <6,5 мкм (<2,5 мкм — SPS-2800-PLUS)
Точность наклона столика (вертикальная жесткость): ≤0,0015 мкм (при 10 кг загрузки)
Перемещение по Тета — от 0° — 360°, ±6°
Разрешение по Тета — 0,1° (0,05° — SPS-2800-PLUS)
Управление с ПК и джойстиком
COSMOS программное обеспечение, руководство по программе
Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)
Опции и апгрейд
Стандартная конфигурация:
Платформа станции
4 манипулятора микропозиционера зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации
4 стандартных рук-зондов и вольфрамовые иглы зондов
Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием (цифровая камера — опция)
Увеличение до 180х (до 4000х — опционально)
Высокомощный LED осветитель с регулировкой интенсивности освещения
Окуляры на 10х и 20х для микроскопа
Вспомогательная 2х (Barlow) линза для микроскопа
Стандартный безмаслянный или ультра тихий вакуумный насос для прижима
Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)
Опции и дополнительные акцессории:
Нагреваемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
Охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
Нагреваемый/охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
Держатели пластин: до 100 мм, до 150 мм
Обработка держателей: (полированная латунь, анодированный алюминий, позолоченная полированная латунь)
Цифровая фото-видеокамера высокого разрешения: по выбору 9,1 ; 5,0 или 1,3 мегапикселов
Установка для перемещения микроскопа по XY в диапазоне 50х50 мм
Консольная установка для перемещения по осям XYZ
Программное обеспечение для камеры для снятия размеров и захвата изображения
Апгрейд микроскопа для увеличения до 4000х
Световое экранирование (защита) для светочувствительных измерений
Экранирование (защита) от RF помех
Лазерный или ультразвуковой резак
Микропозиционеры высокого разрешения с вакуумной базой
Микропозиционеры высокого разрешения с магнитной базой
Полугибкие руки зондов с BNC соединителями
TRIAX, BNC, Pin-plug соединители
Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением
Microxact может использоваться со всеми основными производителями плат

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ