Инструменты нанотехнологий

SOLARIS S151 EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления SOLARIS S151 EVATEC для производства сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов от компании EVATEC (Швейцария).

Пропускная способность установки SOLARIS S151 EVATEC позволяет обрабатывать 1200 подложек размером до 8' за час. Обрабатываемые подложки могут быть как гибкими, так и жесткими.

Основная область применения — производство сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов.

Установка SOLARIS S151 предлагает следующий комплекс процессов:

  • магнетронное напыление,
  • нагрев,
  • отжиг,
  • травление,
  • «flash» — распыление (частицы распыляемого вещества дозированно подаются на сильно разогретую поверхность и испаряются мгновенно).

Основные возможности

  • Гибкая конфигурация — каждая процессная камера отделена от соседних.
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров.
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно.
  • Высокая пропускная способность — до 1200 подложек 8' в час.
  • Равномерность слоя до ±2% за счет вращения подложек во время процесса.
  • Максимальная область покрытия во время процесса — окружность диаметром 225мм.
  • Отжиг при температуре до 550°С.
  • Чистка и активация поверхности с помощью травления.
  • Простая интеграция в производственный процесс.
  • Быстрая замена мишеней и защитных экранов.
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ