Инструменты нанотехнологий

SENresearch. Спектроскопические эллипсометры

SENresearch — серия новейших спектроскопических эллипсометров с диапазоном длин волн от 190 (DUV) до 2500 (IR) нм. специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимом ИК диапазонах с возможностью расширений спектрального диапазона до 190 — 2500 нм.

SENresearch — серия спектроскопических УФ-ВИД (UV-VIS), УФ-ВИД-ИК (UV-VIS-IR), Глубокий УФ-ВИД (DUV-VIS), Глубокий УФ-ВИД-ИК (DUV-VIS-IR) эллипсометров с возможностью проведения измерений пленок под различными углами. Разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон:

  • SE 800: 280–850 (2500) нм
  • SE 800E: 240–930 (2500) нм
  • SE 800DUV: 190–950 нм
  • SE 850: 280–1700 (2500) нм
  • SE 850E: 240–1700 (2500) нм
  • SE 850DUV: 190–1700 (2500) нм

В комплект поставки включен мощный пакет программного обеспечения SpectraRay /3 (2011 г.) для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы.

SpectraRay /3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

SENTECH опция маппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D-изображение распределения толщины с полной статистикой.

Общие технические характеристики серии SENresearch

  • Спектральный диапазон: DUV/VIS/IR: 190…850 (190–2500) нм
  • Размер образца: 6”, опция: 8”
  • Подложка образца: прозрачная/непрозрачная

Опции

  • 200 мкм. микроспот (фокусировка пятна) и до 50 мкм по дополнительному заказу.
  • Управляемый компьютером моторизованный гониометр (40–90º), опционально (20-90º)
  • Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение — 150 мм) для картирования (mapping)
  • Моторизованные столики для образцов с компьютерным управлением для образцов диаметром до 300 мм и перемещением.
  • Криостат 4–700 ºК
  • Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.
  • Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для образцов.
  • Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.
  • ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)
  • Жидкостная ячейка

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ