Инструменты нанотехнологий

Ratis. Плоскопараллельный сканирующий столик

Ratis — семейство плоскопараллельных устройств позиционирования/сканирования, разработанных инженерами компании «Нано Скан Технология» (NST).

Ratis — плоскопараллельный сканирующий столик. Устройство представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно из алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканеры обладают высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками.

Все оси сканеров Ratis снабжены ёмкостными датчиками перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики. Микросхемы ВЦП (время-цифровых преобразователей), измеряющие емкость датчиков, расположены максимально близко к самим датчикам, и выдают цифровой сигнал, пропорциональный измеренной емкости. Это позволяет минимизировать влияние внешних электромагнитных шумов, и использовать длинные кабели для связи сканера с контроллером.

Сканеры Ratis работают под управлением универсального контроллера EG-3000 и программного обеспечения NSpec.

Фактически, набор плоскопараллельного сканера Ratis + полноценного СЗМ контроллера EG-3000 + универсальное программное обеспечение N-Spec является законченной системой сканирования, оцифровки и визуализации исследуемых данных, что является сердцем любого сканирующего микроскопа и идеально подходит для исследовательских разработок в рамках различных НИИОКР. Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время.

Технические характеристики
Параметр Ratis X10Y10 Ratis X15Y15 Ratis X10Y10Z25 Ratis X15Y15Z25
диапазон перемещений по XY, μm 100 150 100 150
диапазон перемещений по оси Z, μm 25 25
резонансная частота по осям XY, kHz 1 1 1 1
резонансная частота по оси Z, kHz 3 3
минимальный шаг перемещения, nm 0.1 0.1 0.1 0.1
максимальное отклонение от нормали на полном ходу < 0.01° < 0.01° < 0.01° < 0.01°
максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) 10 10 10 10
максимальная масса образца, g 100 100 100 100

Информация предоставлена ООО «Нано Скан Технология»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ