Инструменты нанотехнологий

Radiance SPM EVATEC. Кластерная система вакуумного напыления

ООО «ТБС» предлагает кластерную вакуумную систему напыления Radiance SPM EVATEC для производства микроэлектроники, прецизионной оптики, оптоэлектроники, сенсорных экранов, солнечных батарей от компании EVATEC (Швейцария).

Универсальная кластерная система Radiance SPM представляет собой единичный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии.

В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP — CVD, модуль RIE.

Основные возможности

  • Работа с подложками до 300 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров.
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно.
  • Подвод до 8 технологических газов.
  • Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С).
  • Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре.
  • Быстрый и удобный доступ к модулю.
  • Независимая система откачки.
  • Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию.
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ