Инструменты нанотехнологий
ООО «ТБС» предлагает кластерную вакуумную систему напыления Radiance SPM EVATEC для производства микроэлектроники, прецизионной оптики, оптоэлектроники, сенсорных экранов, солнечных батарей от компании EVATEC (Швейцария).
Универсальная кластерная система Radiance SPM представляет собой единичный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии.
В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP — CVD, модуль RIE.