Инструменты нанотехнологий

Radiance BPM EVATEC. Кластерная система вакуумного напыления

ООО «ТБС» предлагает кластерную вакуумную систему напыления Radiance BPM EVATEC для производства микроэлектроники, прецизионной оптики, оптоэлектроники, сенсорных экранов, солнечных батарей от компании EVATEC (Швейцария).

Универсальная кластерная система Radiance BPM EVATEC может конфигурироваться шестью различными процессными модулями:

  • магнетронное напыление на постоянном токе (DC),
  • магнетронное напыление на ВЧ токе (RF),
  • комбинированное напыление (DC/RF),
  • напыление со смещением,
  • дегазация,
  • мягкое травление.

Основные возможности

  • Работа с подложками до 300 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров.
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно.
  • Подвод до 4 технологических газов к одному процессному модулю.
  • Нагрев (до 500°С), охлаждение и вращение подложек во время процесса.
  • Возможность установки системы оптического контроля для отслеживания оптических свойств растущей пленки.
  • Быстрый и удобный доступ к каждому модулю и ко всей камере.
  • Регулируемое расстояние от распыляемой мишени до подложки (до 135 мм)>.
  • Несколько установок Radiance BPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance SPM в одну производственную линию.
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ