Инструменты нанотехнологий

R-200 Standard Picosun. Установка атомно-слоевого осаждения материалов

ООО «Серния» представляет R-200 Standard Picosun — оборудование R-серии Picosun для исследований и разработок в области атомно-слоевого осаждения материалов

R-200 Standard — базовый инструмент для одиночной обработки или обработки минипартий из 5 подложек для НИОКР в области атомно-слоевого осаждения материалов. Имеет ручную или полуавтоматическую обработку подложек. Позволяют производить напыление пленок АСО высочайшего качества даже на поверхности сложнейших структур с порами и сверхвысоким аспектным соотношением, а также на наночастицы.

Легко заменяемые прекурсоры для жидкостных, газообразных, и твердых реагентов позволяют производить напыление пленок без примесных частиц на различные материалы подложек.

Используются подложки размером до 200 мм для одиночной обработки и 150 мм для пакетной обработки. Имеется возможность масштабировать до промышленного производства на Picosun P-серии.

Характеристики:

  • 4 ввода прекурсоров/до 6 реагентов;
  • Тип и размер подложек:
    • 50–200 мм одиночные подложки;
    • минипартия из 5 подложек по 150 мм;
    • 156x156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики;
    • трёхмерные объекты (метал, керамика, полимеры);
    • порошки и частицы;
    • сквозные пористые образцы;
    • образцы, имеющие микроканавки с высоким аспектным соотношением размеров.
  • Загрузка в реакционную камеру — пневматический подъемник;
  • Размеры оборудования зависят от доп.оборудования:
    • минимальный: 146х146х84 см;
    • максимальный: 189х240х111 см
  • Вес 350 кг

Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология АСО является наиболее перспективной, так как с помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких покрытий практически на любые типы поверхностей.

Информация предоставлена Серния Инжиниринг, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ