Инструменты нанотехнологий

Генератор плазмы Picosun PICOPLASMA

ООО «Серния» представляет инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA для для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) от компании Picosun (Финляндия).

Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) основан на безионном удаленном источнике плазмы. Действенность и отличная результативность его работы подтверждены ключевыми клиентами компании во всем мире. Для расширения процессной химии с помощью генератора возможно получать возбужденные частицы кислорода, азота и радикалов водорода. Из-за низкой концентрации ионов, удаленный источник плазмы позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без их разрушения ионами плазмы, но при этом сохраняется плотный поток радикалов.

Источник плазмы PICOPLASMA™ может быть смонтирован на существующее оборудование PICOSUN™, а также клиенты могут приобрести целиком оборудование для ПАСО. Данное оборудование занимает небольшую площадь, обладает легкостью в обслуживании и имеет низкие эксплуатационные издержки. Система также может быть полностью автоматизирована путем включения ее в кластерное оборудование PICOPLATFORM™.

Особенности системы:
Генератор плазмы и блок питания объединены в один компактный корпус.
Подключается к камере перемещения, которая вертикально соединена с реакционной камерой.
Коммерчески доступный РЧ генератор плазмы имеет мощность в диапазоне 100–3000 Вт, частоты 1.7–3 МГц.
Среднее время между отказами > 100 000 часов.
Защитный поток газа в промежуточное простанство (нет обратной диффузии частиц плазмы).
Возбуждение плазмы без вариации давления (не образуются примесные частицы).
Идеально подходит для осаждения металлов и нитридов металлов (отсутствует шунтирование).
Возможность проведения ПАСО и АСО в одном процессе без изменений в конструкции оборудовании.

Информация предоставлена СЕРНИЯ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ