Инструменты нанотехнологий

P-541.2 – P-542.2 Нанопозиционирующие платформы с большой апертурой

Платформы для нанопозиционирования P-541.2–P-542.2 специально разработаны для интеграции в системы микроскопии высокого разрешения.

Отличительными особенностями платформ для нанопозиционирования P-541.2–P-542.2 являются:

  • низкий профиль (16.5 мм),
  • большая апертура (80х80 мм),
  • высокая точность позиционирования с субнанометровым разрешением.

Существует исполнение платформы P-541 для позиционирования по оси Z с заклонами (Qx; Qy), которая позволяет в комбинации с X,Y позиционерами (например, M-686) создавать универсальные системы для микроскопии высокого разрешения и целого ряда метрологических задач. Высокая резонансная частота в 1.5 кГц обеспечивает работу с большой скоростью перемещения, что необходимо, например, при исследовании процессов, критичных ко времени измерения.

В системах много осевой параллельной кинематики все актуаторы воздействуют на одну подвижную платформу. Это подразумевает, что динамические характеристики всех подвижных осей должны быть схожими. Системы параллельной кинематики могут иметь до 6-ти степеней свободы и при этом сохранять низкую инерцию и отличные динамические характеристики. В таких системах возможно определение положения платформы по всем степеням свободы относительно реперной точки.

В системах с параллельной кинематикой нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (cross talk), немедленно детектируется и компенсируется при помощи обратной связи с серво контроллером.

Встроенный датчик контроля положения обеспечивает быстрый отклик и поддержание стабильности позиционирования в нанометровом диапазоне. В наиболее прецизионных моделях данной серии используются емкостные датчики. Они позволяют измерять перемещения без физического контакта, что обеспечивает высокую линейность. Так же, для контроля положения, возможно использование тензодатчиков.

Информация предоставлена Евротек Дженерал, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ