Инструменты нанотехнологий

P-300 Advanced Picosun

ООО «Серния» представляет R-300 Advanced Picosun — оборудование P-серии Picosun для крупносерийного производства в области атомно-слоевого осаждения материалов.

R-300 Advanced — инструмент для пакетной обработки подложек диаметром до 300 мм для серийного производства атомно-слоевого осаждения материалов.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью.

Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Характеристики:

  • 4 ввода прекурсоров/до 6 реагентов;
  • Тип и размер подложек:
    • 300 мм пластины в пакетах по 10 шт;
    • 200 мм пластины в пакетах по 25 шт;
    • 156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики в пакетах по 50/100 шт;
    • листы стекла размером до 300 мм x 300 мм в пакетах по 10-20 шт;
    • трехмерные объекты;
    • порошки и образцы, содержащие частицы;
    • рулонная обработка гибких образцов с макс. шириной не более 300 мм;
    • образцы с глухими и сквозными порами;
    • образцы с высоким аспектным соотношением.
  • Возможно объединение в кластер с Picoplatform;
  • Пневматический загрузчик (ручная загрузка); линейный загрузчик; загрузка с помощью промышленного робота;
  • Габаритные размеры: 149х191х111 см
  • Вес 400+300 кг

Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология АСО является наиболее перспективной, так как с помощью данного метода возможно нанесение сверхтонких покрытий практически на любые типы поверхностей.

Информация предоставлена Серния Инжиниринг, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ