Инструменты нанотехнологий

Ortus. Электронно-лучевая вакуумная напылительная установка

ООО «МашТехСервис» предлагает электронно-лучевую вакуумную напылительную установку Ortus для нанесения тонкопленочных покрытий производства компании «Изовак» (Беларусь).

Вакуумная установка Ortus с электронно-лучевыми испарителями для нанесения тонкопленочных покрытий. Данная серия является новым поколением отечественного вакуумного оборудования для получения высококачественных оптических покрытий. Широкий выбор вариантов комплектации оборудования позволяет максимально гибко подобрать требуемую конфигурацию установки для решения конкретных задач заказчика.

Назначение

Многослойные четвертьволновые и не четвертьволновые покрытия для видимого, УФ и ИК диапазонов.

Отличительные особенности

  • Полная автоматизация
  • Высокое качество изготовления и комплектации
  • Конкурентноспособная цена
  • Верхний привод вращения арматуры со встроенными системами кварцевого и оптического контроля
  • Гарантия 18 месяцев, полный спектр технической поддержки

Примеры наносимых покрытий:

MgF2, SiOX, ZnS, Ta2O5, и т.д.

Комплектация вакуумной установки индивидуальная. Стандартные технические характеристики приведены в таблице.

Технические характеристики
Характеристика Значение
Диаметр вакуумной камеры, мм 700
Предельное остаточное давление в чистой камере без оснастки, не выше, Па 8 х10-4
Время достижения предельного остаточного давления, не более, мин 60
Время достижения давления 1 х 10-3 Па (без прогрева) в чистой камере с начала высоковакуумной откачки, не более, минут 15
Натекание в камеру в течение 10 часов, не более, л Па/с 1 х 102
Контролируемый диапазон рабочего давления в камере при напуске технологического газа, Па 1х10-2 - 8х10-2
Контролируемый диапазон температуры прогрева рабочего объема камеры в зоне подколпачной арматуры, °С 0-300
Количество ЭЛИ, шт 1
Количество ИИ ассистирования, шт 1
Количество резистивных испарителей, шт 2
Плавная (инверторная) регулировка скорости вращения карусели, об/мин от 0 до 30
Неравномерность покрытий по толщине для всей сферической поверхности куполообразного подложкодержателя не должна превышать, % +/-2
Неравномерность покрытия по толщине для арматуры планетарного типа не должна превышать, % +/-1,5
Масса, не более, кг 2000
Потребляемая мощность, не более, кВт 35

Информация предоставлена

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ