Инструменты нанотехнологий

НАНОФАБ 25. Радиальный транспортный модуль

Радиальный транспортный модуль — связующее звено между модулями, входящими в состав нанотехнологического комплекса НАНОФАБ 25.

Такая конструкция комплекса позволяет перегружать образец без развакуумирования, что обеспечивает сохранение необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности. Основа транспортного модуля — манипулятор, предназначенный для передачи образцов. На вакуумной камере модуля имеются смотровые окна для контроля перемещений. Камера оснащена шестью стыковочными портами, расположенными вокруг вертикальной оси. К каждому из этих портов может быть присоединен отдельный модуль, в том числе и еще один транспортный.

Технические характеристики

Общие характеристики
Режим управления — Ручной
Количество портов — 6
Рабочее давление — 5×10-10 мбар

Информация предоставлена ЗАО «НТ-МДТ»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ