Инструменты нанотехнологий

НаноФаб 100: Кластер сверхвысоковакуумных нанолокальных технологий

Особенностью сверхвысоковакуумного кластера нанолокальных технологий является проведение процессов с применением фокусированных ионных пучков в условиях сверхвысокого вакуума, что обеспечивает предельную чистоту поверхности формируемых структур.

Наличие в кластере сверхвысоковакуумного модуля сканирующего зондового микроскопа (СВВ СЗМ) обеспечивает контроль получаемых структур с субнанометровым разрешением.

Габаритные размеры кластера - 300х470 см.

Состав кластера СВВ

Модуль СВВ СЗМ
Сверхвысоковакуумный модуль сканирующего зондового микроскопа
Модуль СВВ ФИП
Сверхвысоковакуумный модуль фокусированных ионных пучков нанообработки
Модуль ФИП Имп
Сверхвысоковакуумный модуль нанолокальной имплантации фокусированными ионными пучками
Транспортный модуль
Сверхвысоковакуумный радиальный транспортный модуль
Модуль загрузки
Модуль загрузки и хранения образцов
Модуль переворота
Сверхвысоковакуумный модуль переворота и передачи пластин

Дополнительные материалы:

Базовое оборудование:

Информация предоставлена ЗАО «НТ-МДТ»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ