Инструменты нанотехнологий

НаноФаб 100. Модульная технологическая платформа для формирования нанотехнологических комплексов

НаноФаб 100 — сверхвысоковакуумный научно-технологический комплекс, предназначенный для разработки и создания элементов наноэлектроники, а также для проведения фундаментальных исследований в этой области.

НАНОФАБ 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм.

При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НаноФаб 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.

Комплекс НаноФаб 100 ориентирован на то, чтобы в полностью автоматическом режиме подвергать один и тот же образец разного рода воздействиям (теми методами, которые сейчас используются для создания микроэлектроники, только с предельным разрешением на один-два порядка больше). Подходит для организации мелкосерийного производства.

В настоящее время завершена разработка второго поколения данной платформы, не имеющая аналогов в мире по производительности и доступному набору методов воздействия.

Применение

Области применения НТК НаноФаб 100 покрывают практически все поле нанотехнологических исследований и разработок, связанных с твердотельными наноматериалами, наноструктарами и наноустройствами. Спектр возможностей НаноФаб 100 простирается от проведения фундаментальных исследований до отработки отдельных технологических приемов и моделирования наноэлектронных устройств. Применяемые компоновочные схемы, система управления и развитая транспортная система НТК НаноФаб 100 позволяюет применять их также и для мелкосерийного производство наноструктур и наноустройств. Координатно-связанная система позиционирования подложек позволяет создавать сложные многокомпонентные 3D наноустройства путем проведения в различных модулях последовательных нанотехнологических операций с нанометровым разрешением.

Особенности

Богатейшие возможности НаноФаб 100 реализуются за счет правильно выбранной кластерной компоновочной схемы – связь между образующими кластер функционально объединенными технологическими модулями осуществляется с помощью сверхвысоковакуумного радиального робота-раздатчика. Это обеспечивает минимальное время межоперационной передачи образцов и, соответственно, сохранение совершенно необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности.

Наличие модулей передачи подложек с устройствами переворота обеспечивает возможность проведения сложных технологических циклов с включением групповых и нанолокальных процессов. Развитая транспортная система с модулями межоперационного хранения подложек позволяет в одном НТК НаноФаб 100 реализовать одновременно несколько технологических циклов на нескольких подложках. Помимо модулей в состав НаноФаб 100 входят также и отдельные технологические, контрольные, измерительные, аналитические и др. устройства. Модули платформы НаноФаб 100 могут функционировать как в составе НТК, так и автономно, в отдельных случаях, возможно, с использованием вспомогательных загрузочных устройств или модулей загрузки.

По составу платформы, транспортной системе, системе управления и гибкости формирования нанотехнологических комплексов платформа НаноФаб 100 не имеет аналогов в мировой практике.

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена ЗАО «НТ-МДТ»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ