Инструменты нанотехнологий

QS3300. ИК-Фурье спектрометр для 300-миллиметровых пластин

QS3300 – полностью автоматизированная система, разработанная как для неразрушающей ИК-Фурье спектроскопии полупроводниковых материалов, так и для использования при производстве приборов. Система QS3300ME разработана в соответствии со стандартом I300I и используется по всему миру уже в течение трех лет при производстве на пластинах диаметром 300мм.

QS3300 измеряет:

  • концентрацию бора и фосфора в пленках из бор-фосфор-селикатного стекла,
  • концентрацию атомарного водорода в пассивирующих слоях нитрида кремния,
  • содержание фтора в пленках фтор-селикатного стекла (FSG),
  • толщину легирования,
  • концентрацию примесей кислорода и замещающего углерода в кремнии,
  • глубину канавок в чипах DRAM 64 и 256 MB.

Уникальные алгоритмы FILMZ позволяют получить мгновенные измерения для КНД, SiC - структур и других полупроводниковых соединений. Встроенные вычислительные возможности позволяют применять прибор для практически всех возможных материалов пластин.

Информация предоставлена ООО «Сигм плюс»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ