Инструменты нанотехнологий

HL5500PC. Система измерения эффекта Холла

HL5500PC представляет собой высокоэффективную систему, предназначенную для проведения измерений эффекта Холла и позволяющую определять сопротивление, концентрацию и подвижность носителей в полупроводниках.

Являясь модульной по принципу построения, система легко модифицируется и может использоваться для широкого диапазона материалов, в том числе для кремния и твердых сплавов (композитных полупроводников).

Прибор позволяет проводить измерения полупроводниковых слоев как с низким, так и высоким электрическим сопротивлением, а использование специального криостата расширяет доступный температурный диапазон от 4К до 600 °С и выше. Программное обеспечение HL5500PC имеет интуитивно понятный интерфейс Microsoft Windows и не требует каких-либо специальных навыков для установки, настройки и использования. При использовании дополнительного подвижного столика возможно измерение эффекта Холла по площади пластины в целях определения однородности ее параметров.

Возможности и преимущества

  • Возможность измерений в режимах постоянного и переменного сигнала. Использование переменного тока и фазочувствительного детектирования исключает тепловые эффекты и погрешности, связанные с изменением параметров системы со временем, а также значительно улучшает соотношение сигналшум. Режим постоянного сигнала используется тогда, когда захват носителей ловушками, выпрямление на неомических контактах или паразитные емкости влияют на переменный ток.
  • Возможность измерения различными способами: Ван-дер-Пау и т.д. согласно стандарту ASTM F-76.
  • Простая и удобная зондовая система, повышающая производительность.
  • Компактный настольный дизайн прибора.
  • Широкий диапазон значения тока и автоматическая установка его величины для минимизации нагрева образца.
  • Ограничение величины электрического поля во избежание эффектов ударной ионизации при низких температурах.
  • Дополнительный буферный усилитель/источник тока для расширения диапазона измеряемого поверхностного сопротивления до 100 ГОм/см2.
  • Программный контроль всех параметров измерений, возможность сохранения и архивирования данных, текстовый и графический вывод на печать.
  • Дополнительные возможности проведения измерений при различных температурах:
    1. две фиксированные температуры: комнатная и 77К;
    2. криостат с жидким азотом, от 90К до 500К;
    3. криостат с непрерывной прокачкой жидкого гелия, от 4К до 500К;
    4. криостат с непрерывной прокачкой жидкого гелия, от 4К до 300К.
  • Редкоземельный постоянный магнит, обеспечивающий высокую стабильность.
  • В процессе измерения пластина помещается под непрозрачный кожух, тем самым исключаются ошибки, обусловленные посторонней засветкой.
  • Используемая конструкция зондов позволяет быстро осуществлять установку и измерения при комнатной температуре и температуре жидкого азота (77К) пластин диаметром до 3 дюймов.
  • Тщательная проверка правильности измерений, в том числе алгоритмы контроля качества контактов
  • Система электрического вжигания контактов

Ключевые преимущества

  • Измерения эффекта Холла методами Ван-дер-Пау, в линейной и мостовой схемах согласно стандарту ASTM F-76 Rapid QA с использованием микроманипуляторов и двухтемпературного криостата для пластин диаметром до 3 дюймов.
  • Постоянный редкоземельный магнит, обеспечивающий высокую стабильность и низкий уровень шума.
  • Простая удобная зондовая система с большой производительностью.
  • Компактный настольный дизайн
  • Целый ряд дополнительных модулей, расширяющих функциональные возможности системы. Буферный усилитель для больших сопротивлений (1012 Ом/см2).
  • Криостат для проведения измерений при температуре жидкого азота.
  • Криостат для проведения измерений при температуре жидкого гелия.
  • Специальный столик с возможностью проведения измерений при повышенной температуре
  • Комплексное программное обеспечение в среде Windows для проведения измерений и обработки данных

HL5580. Буферный усилитель с повышенным входным сопротивлением/источник тока

В модели HL5580 возможна установка буферного усилителя высоким импедансом/источника тока, расширяющего диапазон измерений поверхностного сопротивления до 100 ГОм/см2 и диапазон токов источника до 1пА. Близкое расположение модуля и образца, а также использование управляемой защиты позволяет минимизировать наводки в проводах.

Рекомендуется установка дополнительного стереомикроскопа HL5520.

Информация предоставлена ООО «Сигм плюс»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ