Инструменты нанотехнологий

ECVPro. Электрохимический CV-профилометр

Запатентованный, принципиально новый CV-профилометр, в корне меняющий представление о возможностях электрохимического профилирования.

Большой объем знаний, накопленный за 25 лет работы в этой области, а также богатый опыт по разработке и совершенствованию разнообразного измерительного оборудования позволили создать чрезвычайно точный, полностью автоматизированный CV-профилометр с высокой воспроизводимостью результатов измерений. ECVPro представляет собою абсолютно новый, разработанный «с нуля» прибор, позволяющий минимизировать погрешности измерений, вызванные действиями оператора. Единственная операция, производимая оператором – установка образца на измерительный столик. После этого ECVPro все делает сам.

Впервые в ECVPro установлена камера, позволяющая непосредственно во время профилирования контролировать состояние поверхности исследуемого образца. Эта система, названная ECVision, обеспечивает беспрецедентный уровень контроля, недостижимый ранее. Теперь в режиме реального времени возможно наблюдать за тем, что на самом деле происходит с поверхностью во время измерений.

Для работы с популярной в настоящее время нитридной системой материалов была разработана дополнительная опция ECVPro GaN, расширяющая возможности профилометра для оптимального измерения GaN, InGaN и AlGaN.

Ячейки для электрохимического профилирования и уплотнительные кольца

Ячейка для электрохимического профилирования является сердцем установки, а уплотняющее кольцо – наиболее важный ее компонент. Обслуживание запатентованной электрохимическая ячейка ECVPro сведено к минимуму за счет интеграции ячейки в систему и оптимизации конфигурации электродов. Новая конструкция ячейки более чем в два раза увеличивает срок службы уплотняющего кольца.

Также была оптимизирована система циркуляции электролита, обеспечивающая равномерное травление. Модульный дизайн делает возможным замену уплотняющего кольца в течение 30 секунд, исключая опасность его деформации или повреждения.

Электрохимические измерения высокой точности

Автоматизация измерений дает значительные преимущества только при условии высокой точности. Современная электроника ECVPro исключает дрейф и значительно улучшает соотношение сигнал-шум. Процесс электрохимического CV-профилирования хорошо изучен, точно контролируется и калибруется по специальным стандартам для каждого измерения. В ECVPro реализован новый метод измерения на двух частотах, позволяющий найти полное решение для трехмерной модели. ECVPro может измерять концентрации носителей в диапазоне 1013 – 1020 см-3 на глубине 0,05 – 50 мкм с очень высоким разрешением по глубине вплоть до 1 нм. ECVPro превзойдет ваши ожидания во всех отношениях.

Преимущества ECV Pro

  • Исключено влияние оператора на результаты измерений
  • Значительное улучшение воспроизводимости
  • Новая конструкция профилометра снижает занимаемую площадь
  • ECVision помогает контролировать процесс измерений

ECVPro в качестве альтернативы другим приборам

ECVPro vs. Ртутное зондирование
Точность и воспроизводимость результатов делают ECVPro актуальной, надежной и безопасной для окружающей среды альтернативой ртутному зондированию. В электрохимическом CV-профилометре фирмы Nanometrics не используются каломельные электроды и полностью отсутствует ртуть. Горизонтальное расположение столика делает измерение пространственного распределения концентрационного профиля по поверхности образца простым и удобным. Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECVPro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.
ECVPro vs. Измерения эффекта Холла
CV-профилирование обладает множеством преимуществ перед измерениями эффекта Холла. Среди них – возможности измерения концентрации электрически активированных примесей и получение информации об отдельных слоях. Кроме того, в отличие от установок по измерению эффекта Холла, работающих только с полуизолирующими или специально подготовленными PN-структурами, ECVPro позволяет профилировать широкий ряд материалов и структур.

История развития электрохимического CV-профилирования

История ECVPro уходит корнями в 1970-тые, когда Ambridge и Factor разработали Post Office Profiler. Компьютеризированный Polaron Profiler был первой коммерчески ус-пешной системой, которая впоследствии стала именоваться Bio-Rad PN4300. Accent был образован в июле 2000 года с приобретением отделения полупроводников и оптоэлектроники компании Bio-Rad. После этого началась работа по созданию ECVPro.

Увеличение производительности при уменьшении стоимости

Устранение влияния оператора на результаты измерений
Время, необходимое на обучения работе с CV-профилометром ECVPro, значительно уменьшено. Упрощена подготовка образца, а наглядное программное обеспечение направляет оператора на протяжении всего цикла измерений, уменьшая вероятность ошибок. Использование рецептов для автоматизации измерений позволяет полностью исключить участие оператора в профилировании сложных структур.
Снижение затрат
Новый дизайн ECVPro увеличивает срок службы уплотняющих колец и исключает необходимость приобретения дорогостоящих каломельных электродов. Сигнальные электроды и контакты нуждаются в замене значительно реже.
Уменьшение эксплуатационных расходов
Дизайн новой ячейки профилометра и оптики существенно увеличили надежность оборудования.
Сокращение занимаемой площади
Напольный дизайн ECVPro уменьшает занимаемое пространство примерно в 2 раза по сравнению с другими профилометрами. Также отпадает необходимость в оборудовании специального места для хранения электролитов, воды и отработанных жидкостей, поскольку все они располагаются внутри установки.
Электрохимический CV-профилометр ECVPro

Электрохимический CV-профилометр ECVPro

Информация предоставлена ООО «Сигм плюс»

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ