Инструменты нанотехнологий

mPG 101. Установка лазерной безмасковой литографии

МИНАТЕХ предлагает настольную лабораторную систему безмасковой лазерной литография mPG 101 для производства фотошаблонов и прямого формирования изображения от Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия).

Лазерный генератор изображения Heidelberg microPG 101 является компактным бюджетным решением для лабораторий и мелкосерийных производств. Несмотря на свою компактность, установка справляется со всеми теми же задачами, что выполняют более крупные модели генераторов. Установка может использоваться для производства фотошаблонов, а также для получения топологических структур на прочих пластинах с фоторезистом при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики и др.

Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован специальной оптической системой и системой позиционирования подложки.

Для обеспечения наилучшей разрешающей способности генератор оборудован системой автофокусировки с подстройкой пьезомодулем и системой модуляции луча с помощью акустооптического модулятора.

Для перемещения подложки в горизонтальной плоскости есть специальная система позиционирования.

В базовой комплектации система оснащена диодным лазером, работающим на длине волны 405 нм, 120 мВт. В зависимости от технических требований заказчика установка может быть оснащена УФ диодным лазерным источником (375 нм, 70 мВт).

Установку можно оснастить сменными пишущими линзами с минимальным размером элемента 5 микрон, 2,5 микрона и 0,9 микрон. (по выбору). Пишущие головки сменные и могут меняться оператором при смене процесса.

Технические характеристики:
Сменные пишущие линзы (головы) на 0,9 мкм, 2,5 мкм и 5,0 мкм
Размер обрабатываемых подложек и пластин до 6 х 6 дюймов
Размер поля экспонирования до 125 х 125 мм
Толщина подложки до 6 мм
Погрешность позиционирования подложки: 20 нм
Точная фокусировка луча до 100 нм
Габаритные размеры: 610 х 740 х 500 мм, вес 100 кг
Размеры блока питания: 430 х 380 х 230 мм, вес 10 кг
Стабильность поддержания температуры ±1°С
Требуемый уровень влажности: 50% ± 10%
Энергопотребление: 230 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 6 A
Класс чистоты комнаты: ISO 6 (1000) или лучше
Режимы формирования рисунка mPG 101
Режим работы I II III
Размер адресной сетки, нм 40 100 200
Минимальный размер элемента, мкм 0,9 2,5 5,0
Скорость рисования, мм2/мин 5,0 35 90
Неровность края (3σ), нм 120 200 400
Равномерность (3σ), нм 200 400 800
Точность совмещения (3σ), нм 200 400 800
Область письма (экспонирования), мм 90х90 125х125 125х125

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ