Инструменты нанотехнологий

MOCVD MC-050. Установка MOCVD и SprayCVD процессов для лабораторий

МИНАТЕХ предлагает установку MOCVD и SprayCVD процессов для лабораторий от компании ANNEALSYS (Франция).

MC-050 — бюджетная установка для процессов MOCVD для исследований и НИОКР на подложках диаметром до 2-х дюймов. осаждение и Отжиг можно производить в одной камере.

Спецификация и описание:
Установка MC-050 — установка для проведения MOCVD процессов на пластинах до 2-ух дюймов для исследований и НИОКР.
MC-050 позволяет проводить процесс гетороэпитаксии оксидов на пластине монокристаллического кремния с помощью MOCVD с использованием большого числа твердых, жидких металлоорганических прекурсоров.
Система MC-050 может обеспечивать прямую инжекцию из аэрозольного аппарата позволяющего получать широкий круг прекурсоров для разработки новых материалов. Инфракрасная лампа используется для обеспечения процессов in-situ отжига в камере для осаждения.
Исполнение и характеристики:
Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1200°C (±1°C)
Высокая скорость нагрева до 200°C/сек для пластины в 2 дюйма
Возможность смешивания газов с контроллерами массового расхода
До 4 испарителей
Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-3 Торр (10-6 Торр с турбонасосом — опция)
Перчаточный бокс для загрузки (опция)
Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
Пирометрический контроль
Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows
Загрузка: ручная
Применение:
CVD, MOCVD, SprayCVD, RTA, RTO, in-situ отжиг
Металлы и сплавы, оксиды, нитриды
Нанатрубки и нанопровода…
Полупроводники: SiO2, HfO2, Ta2O5, Cu, TiN, TaN,...
Нитриды и сплавы: GaN, AlN, GaAs, GaAsN,...
Диэлектрики с высоким k: SrTiO3, BaTiO3, Ba(1-x)SrxTiO3 (BST)
Ферроэлектрики: SBT, SBTN, PLZT, PZT,…
Сверхпроводники: YBCO, Bi-2223, Bi-2212, Tl-1223,…
Пьезоэлектрики: (Pb, Sr)(Zr,Ti)O3, Модифицированный титанат свинца с колоссальным магнитным сопротивлением
Металлы: Pt, Cu,...
Термические покрытия
Буфферные слои
Механические покрытия
Оптика

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ