Инструменты нанотехнологий

MIRA 3 LM. Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки

MIRA 3 LM — сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения, оснащенный автоэмиссионным катодом Шоттки.

Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения

  • Катод Шоттки высокой яркости для получения изображений высокого разрешения, высокой контрастности, с низким уровнем шумов.
  • Специальный In-Beam детектор в качестве опции для получения изображений высокого разрешения, особенно при низких ускоряющих напряжениях.

Современная электронная оптика

  • Уникальная трехлинзовая электронная оптика Wide Field Optics™, предназначенная для получения изображений в различных режимах.
  • Запатентованная промежуточная электромагнитная линза (IML) выполняет функции устройства для смены финальной апертуры.
  • Исполнение колонны без механически центрируемых элементов позволяет сделать настройку и регулировку электронно-оптической системы полностью автоматической.
  • Обновленная технология In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров электронного пучка в реальном времени.
  • Уникальное «живое» стереоскопическое изображение, использующее технологию 3D Beam Technology, открывает удивительные возможности для 3D исследований микро- и наномира.
  • Сканирование с высокой скоростью (вплоть до 20 нс/пиксель).

Аналитические возможности

  • Большая камера образцов и 5-ти осевой полностью моторизованный столик образцов.
  • Детекторы сцинтилляторного типа на основе высокочувствительных YAG кристаллов незаменимы при сканировании с высокими скоростями.
  • 11 интерфейсных портов камеры с оптимальной геометрией для установки детекторов EDX, WDX, EBSD.
  • Интегрированная пневматическая или активная электромагнитная (опционально) подвеска для подавления влияния внешних вибраций.

Автоматизация исследований

  • Тщательный и надежный автоматический анализ с помощью быстрого и точно позиционируемого столика, управляемого компьютером
  • Коммуникация с оборудованием сторонних производителей осуществляется по протоколу TCP/IP, что позволяет проводить автоматический элементный анализ, управление манипуляторами и т.д.
  • Высокопроизводительная автоматизация исследований больших площадей поверхности образцов для, например, автоматического поиска и анализа частиц

Усовершенствованное управление

  • Все процедуры настройки микроскопа автоматизированы, в том числе центрирование и настройка электронной оптики.
  • Прогрессивное программное обеспечение для управления микроскопом, накопления, обработки, анализа и архивирования изображений.
  • Многопользовательский интерфейс программного обеспечения, локализованный под несколько языков (в том числе под русский).
  • Четыре уровня прав доступа для пользователей разной степени подготовки; режим EasySEM™ для быстрых рутинных исследований
  • Встроенная система сортировки изображений и создания отчетов.
  • Возможность удаленного доступа по сети для управления, настройки и диагностики
  • Встроенная система самодиагностики для автоматической сервисной проверки

Информация предоставлена ТЕСКАН, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ