Инструменты нанотехнологий

Minilock Duo Trion. Система плазмохимического травления и осаждения

ООО «Серния» представляет Minilock Duo Trion — систему плазмохимического травления и осаждения 2 в 1 от компании Trion Technology (США).

Minilock Duo Trion — компактная система плазмохимического травления или осаждения. Уустановка имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под процессы травления или осаждения. Каждый из реакторов соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, использование которого значительно экономит рабочее время.

Используя Minilock Duo можно сочетать комбинацию следующих технологических процессов травления и осаждения:

  • PR Strip (photoresist strip) — плазмохимическое удаление фоторезиста
  • PE (plasma etching) — плазменное травление
  • DRIE (deep RIE) — глубокое реактивное травление
  • HDCVD (high density CVD) — осаждение из газовой фазы высокой плотности

Система может использоваться для плазмохимических процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы, например для сложных химических процессов, включая травление с использованием агрессивных веществ.

Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.

Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.

В системе также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.

Информация предоставлена СЕРНИЯ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ