Инструменты нанотехнологий

MDA-400М. Ручная установка совмещения и контактного экспонирования

Установка совмещения и экспонирования подложек MDA-400M корейской фирмы MIDAS System широко используется в производстве оптоэлектронных устройств и MEMS систем.

MDA-400M — установка совмещения контактного экспонирования, которая позволяет достигнуть прецизионной точности совмещения 1 мкм, что недостижимо для большинства современных аналогичных установок. Это идеальный, экономичный вариант для лабораторных исследований и небольших объемов производства.

Достоинства

  • Прецизионная точность совмещения 1 мкм
  • Высокое разрешение фотолитографии
  • Поддерживает размеры подложек до 4’’
  • Специальные держатели подложек
  • Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
  • Уникальная система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
  • Антивибрационный стол
  • Эргономичный дизайн для удобного использования
  • Низкая стоимость/высокое качество
Характеристики
Характеристика Значение
Размер подложки До 4’’ х 4’’
Размер фотошаблона До 5’’ х 5’’
Разрешение 1 мкм, при использовании тонкого фоторезиста и кремниевой подложки
Точность совмещения 1 мкм
Способ управления Полностью ручное управление
Мощность УФ лампы 350 Вт с блоком контроля мощности и интенсивности излучения
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 30 мВт/см2
Интенсивность излучения при длине волны 400 нм Максимальная 40 мВт/см2
Размер однородного пучка излучения 4,25’’ х 4,25’’
Однородность УФ излучения 3%
Регулируемое время экспонирования От 0.1 до 999.9 сек с шагом 100 мс
Методы экспонирования Мягкий, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором
Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (± 10 мм) и по углу θ (± 5°)
Выравнивание Компенсация клиновой ошибки
Опционально Датчик интенсивности УФ излучения
Состав установки для совмещения и контактного экспонирования MDA-400М

Состав установки для совмещения и контактного экспонирования MDA-400М

Информация предоставлена Евроинтех, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ