Инструменты нанотехнологий

Линейные прецизионные платформы для микропозиционирования серии М110, М111, М112

Линейные прецизионные платформы для микропозиционирования серии М110, М111 и М112 позволяют осуществлять высокоточное перемещение в диапазоне от 5 до 25 мм и имеют очень компактную конструкцию.

Особенности

Из отличительных особенностей линейных платформ M-110, M-111 и M-112 можно отметить:

  • ходовой винт, обеспечивающий субмикронные разрешения,
  • прецизионные линейные шарикоподшипники, гарантирующие прямолинейность перемещения <0.5 мкм.

В соответствии с рядом требований к промышленным применениям, платформы серии M-11x.2 оборудованы шариково-винтовыми передачами для снижения трения и обеспечения высокой точности перемещения. Это позволяет применять их в рабочих циклах типа 24/7.

M-110, M-111 и M-112 могут комбинироваться при создании систем типа XY и XYZ для обеспечения много осевого перемещения. Комбинации с другим оборудованием Physik Instrumente позволяют создавать высокоточные системы позиционирования для широкого спектра применений.

Тип двигателя

Платформы могут оснащаться двигателями постоянного тока (с редуктором), либо 2-х фазными шаговыми двигателями. Двигатели постоянного тока оснащены угловыми энкодерами для обеспечения обратной связи.

Для защиты совместно используемого оборудования платформы снабжены ограничительными датчиками, работающими на основе эффекта Холла.

Линейные платформы серии М110-М111-М112

Линейные платформы серии М110-М111-М112

Габаритные размеры серии М110-М111-М112

Габаритные размеры серии М110-М111-М112

Информация предоставлена Евротек Дженерал, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ