Инструменты нанотехнологий

LYRA 3 FEG. Сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения с катодом Шоттки и сфокусированным ионным пучком

LYRA 3 FEG — удобное сочетание электронной и ионной колонн на одной камере. Сфокусированный ионный пучок, как дополнение к автоэмиссионному микроскопу, предназначен для модификации поверхности.

«Формула 1» в нанотехнологиях

Серия LYRA была спроектирована как универсальный прибор для исследовательской работы и высокотехнологичного применения. Удобное сочетание сканирующего электронного микроскопа высокого разрешения и ионной колонны с различными дополнениями открывает широкие перспективы в использовании системы.

LYRA 3 FEG принадлежит к третьему поколению микроскопов Tescan, в котором учтены все результаты последних 20 лет в исследованиях, разработке и производстве сканирующих электронных микроскопов, аксессуаров для СЭМ и других специализированных продуктов.

Быстрый, как никогда раньше

Новое поколение позволяет пользователю насладиться последними достижениями современных технологий: новейшей электроникой для быстрого накопления и обработки высококачественных изображений, высокоскоростной системой сканирования с компенсацией статических и динамических искажений. Современное устройство электронно-оптической колонны с уникальной технологией In-Flight Beam Tracing™ для контроля и оптимизации рабочих характеристик и параметров электронного пучка в реальном времени делает результаты еще более стабильными.

Новое программное обеспечение

Одна из главных задач при разработке подобных систем – создание программного обеспечения с интуитивным и дружественным интерфейсом управления, удобного как для начинающих, так и для опытных пользователей.

Нынешнее, третье, поколение микроскопов поставляется с новым ПО, которое максимально соответствует этим требованиям. Встроенная система самодиагностики, процедуры автоматической настройки и оптимизации параметров для обеспечения стабильности работы системы в выбранном режиме.

Простой для изучения встроенный язык программирования открывает доступ к большинству элементов программного обеспечения для управления микроскопом, а также позволяет создавать собственные процедуры автоматизации.

Новая версия модуля DrawBeam — мощный инструмент для нанолитографии.

Модели LYRA 3

LYRA 3 предлагается в двух основных вариантах исполнения:

  • высоковакуумная модель (XMH)
  • модель для работы при переменном вакууме в камере (XMU)

Дополнения

Для каждой модели доступен огромный выбор опциональных дополнений и аксессуаров:

  • система инжектирования газов,
  • наноманипуляторы,
  • системы анализа состава,
  • прерыватель пучка,
  • различные модули ПО.

Информация предоставлена ТЕСКАН, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ