Инструменты нанотехнологий

LLS Evo II EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления LLS Evo II EVATEC для микроэлектроники, прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

Магнетронное напыление с помощью постоянного (DC) и ВЧ (RF) тока, комбинированное (DC/RF) напыление, напыление с помощью постоянного тока в режиме пульсации.

Установска LLS Evo II EVATEC позволяет проводить плазменную очистку подложек в загрузочном шлюзе, что предотвращает загрязнение процессной камеры.

Основные возможности

  • До 5 магнетронных источников — DC, RF, DC/RF, DC в режиме пульсации.
  • Напыление металлов, диэлектриков и TCO пленок.
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров.
  • Возможность напыления через жесткие маски, минуя процесс литографии.
  • Опция автоматической загрузки/выгрузки подложек из кассеты в кассету.
  • Опция сканера штрих-кодов для полностью автоматизированного производства.
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ