Инструменты нанотехнологий
Сортировать: по рейтингу | по названию | по дате поступления | по популярности
Поиск по производителю
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology
Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) — производитель оборудования для проведения плазмохимических процессов, являющийся мировым лидером в своей области.
На установках OIPT реализуются процессы плазмохимического травления и осаждения (ICP, RIE, PECVD), ионно-лучевого травления и осаждения (IBE, CAIBE, IBD), атомно-слоевого осаждения (ALD), эпитаксии из газовой фазы гидридов (HVPE), магнетронного напыления, выращивания наноструктур и анализа отказов. Оборудование используется для иследований и мелкосерийного производства в области полупроводников, прецизионной оптики, оптоэлектроники, микромеханики и нанотехнологии.
OIPT имеет собственную научную лабораторию, что позволяет осуществлять технологическую поддержку клиентов в течение всего периода эксплуатации приобретенного оборудования.
Рубрики: Магнетронное напыление, Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы, Плазмохимическоe осаждение с источником индуктивно-связанной плазмы, Синтез наноматериалов
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: Technoinfo Limited, ИНТЕК
Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение
Ключевые слова: ALD-технологии
Система FlexAL предоставляет уникальные возможности для разработки наноразмерных структур и приборов. FlexAL реализует процессы атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: Technoinfo Limited, ИНТЕК
Рубрикатор: Атомно-слоевое осаждение
Ключевые слова: ALD-технологии
Система OpAL ориентирована на проведение термического ALD. Однако, установка может быть модернизирована для использования плазменного атомно-слоевого осаждения. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: Technoinfo Limited
Рубрикатор: Реактивное ионное травление
Ключевые слова: плазмохимическое травление
Компактная система с открытой загрузкой для проведения процессов плазмохимического травления и нанесения, пришедшая на смену отлично зарекомендовавшей себя системе Plasmalab 80plus. Использование PlasmaPro NGP80 позволяет решать как исследовательские задачи, так и организовать мелкосерийное производство. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Синтез наноматериалов
Ключевые слова: наноматериалы, наноструктуры
Системы Nanofab позволяют выращивать нанотрубки и нанопровода в контролируемых процессах с высокой скоростью роста. Наноструктуры выращиваются в местах каталитической активации поверхности подложки.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Ионно-лучевая обработка
Ключевые слова: ionfab
Ионно-лучевые системы Ionfab позволяют реализовать как технологии ионно-лучевого травления так и технологии вакуумного осаждения с распылением мишени ионным пучком. Серия Ionfab находит применение в широком спектре приложений микроэлектроники, оптики, нанотехнологии и биомеханики.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Реактивное ионное травление, Плазмохимическоe осаждение с источником индуктивно-связанной плазмы, Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы
Ключевые слова: plasmalab 100
Plasmalab 100 — системы, которые решают широкий круг задач плазменного травления и осаждения. Обрабатывают пластины до 200 мм. Серия Plasmalab 100 предлагает гибкие и производительные решения для организации исследовательских работ, мелкосерийного и серийного производства.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Реактивное ионное травление, Плазмохимическоe осаждение с источником индуктивно-связанной плазмы, Плазмохимическоe осаждение из газовой фазы
Ключевые слова: plasmalab 133
Plasmalab 133 — системы со шлюзовой загрузкой подложек. Спроектированы для проведения процессов плазменного травления и осаждения на пластинах диаметром 300 мм и крупных партиях пластин меньшего диаметра. Серия Plasmalab 133 предлагает гибкие и производительные решения для организации исследовательских работ, мелкосерийного и серийного производства.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Реактивное ионное травление
Ключевые слова: plasmalab 80
Малогабаритные системы с открытой загрузкой образцов для проведения процессов плазмохимического травления и осаждения в исследовательских, опытно-конструкторских работах и мелкосерийном производстве. Обрабатывают пластины до 200 мм.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Реактивное ионное травление
Ключевые слова: plasmalab 800
Система с открытой загрузкой образцов для проведения процессов плазмохимического травления и осаждения в опытно-конструкторских работах и мелкосерийном производстве. Обрабатывает пластины до 300 мм или партии подложек меньшего размера.
Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology (Великобритания)
Поставщик: ИНТЕК, Technoinfo Limited
Рубрикатор: Магнетронное напыление
Ключевые слова: plasmalab
Осаждение с магнетронным распылением мишени является одним из стандартных вариантов PVD для микроэлектронных технологий. Позволяет получать слои широкого спектра материалов от металлов до диэлектриков с контролируемой стехиометрией.
На страницу назад
На страницу вперед
© www.rusnanonet.ru 2008-2015. Все права защищены.
Перепечатка материалов сайта разрешается только с активной ссылкой на www.rusnanonet.ru
Нанотехнологическое оборудование. Портал RusNanoNet.ru
