Инструменты нанотехнологий

Keyence VHX-1000. Универсальный цифровой микроскоп

Цифровой микроскоп Keyence VHX-1000 открывает новые горизонты микроскопии в видимом свете. Высочайшее качество объективов Keyence в сочетании с цифровой камерой высокого разрешения 54 MPx позволяют решить сложнейшие задачи микроэлектроники, машиностроения, материаловедения, минералогии, криминалистических экспертизах и пр. Видимое разрешение системы составляет 0,2 мкм.

Переносной материаловедческий микроскоп Keyence VHX-1000 имеет контроллер с высокоразрешающим монитором, мощным графическим процессором и осветителем «холодного света» 100 Вт, компактную цифровую камеру с разрешением до 54 Мпикс, со встроенным кольцевым осветителем, широкий набор компактных, но очень мощных объективов с 10-ти кратным зумом, позволяющим снимать широкий спектр образцов от макрообъектов с уменьшением до 10-ти крат, до наноструктур с увеличением до 5000х.

Keyence VHX-1000 комплектуется измерительным штативом, либо штативом, позволяющим производить наблюдение и съёмку под любым углом, быстро и точно в автоматическом режиме снимать 3D образ трёхмерного объекта, производить измерения с точностью до 0,1 микрона в том числе и в 3D.

Рабочее расстояние объективов достигает 85 мм при увеличении 500х, что позволяет заглянуть в труднодоступные места, недостижимые без разрушения образца для обычных материаловедческих микроскопов, а при подключении бороскопических и эндоскопических насадок проводить неразрушающий контроль внутренних поверхностей агрегатов и механизмов.

Keyence VHX-1000 выполнен по концепции «всё в одном».

Применение

Контроль качества в машиностроении и электронике, исследование материалов методами светлопольной и темнопольной микроскопии и DIC в отраженном свете, точные измерения в 2D и 3D. Исследование фиксированных и живых организмов.

Спецификация

  • Разрешение камеры: от 1600 х 1200 (2 Мpx) до 4800x2600x3CCD (54 Mpx)
  • Частота кадров в режиме видео 15 и 28 1/сек
  • Динамический диапазон 16 бит RGB
  • Осветитель «холодного света»: галогеновая лампа 12 V 100W, гибкий полимерный световод
  • Разрешение монитора: 1920x1200 пикселов (WUXGA)
  • Объективы (полное увеличение на мониторе): 20х, 50х, 100х, 200х, 500х и 1000х
  • Объективы с большим рабочим расстоянием: 50х, 100х, 200х
  • Зум-объективы с автоматическим распознаванием увеличения: 0,1х–50х; 20х–200х; 100х-1000х; 250х-2500х; 500х-5000х
  • Длиннофокусные зум-объективы (рабочее расстояние 85 мм): 25х-175х; 35х-245; 50х–500х (с автоматическим распознаванием увеличения)
  • Штативы: с регулируемой осью наблюдения от -60 до 90° («Произвольный угол») с механическим и/или моторизованным Z-приводом; измерительный XY штатив; виброустойчивый штатив с проходящим светом
  • Типы освещения: падающее: коаксиальное, кольцевое, сегментное, боковое, рассеяное, суперрассеяное, тёмное поле, поляризованный свет, DIC по Номарскому, проходящее — светлое поле
  • Специальные функции, доступные в том числе и с выносной консоли, нажатием одной клавиши: «убрать блики», «устранить вибрацию», «9 сценариев освещения», «Световой сдвиг», «Автофокус», «расширенный фокус и 3D”» и т.д.
  • Для большинства методов исследования специальная пробоподготовка не нужна

Особенности микроскопа Keyence VHX-1000

Инспекционные задачи в микроэлектронике
При решении вопросов инспекции микроэлектронных компонентов важно максимальное увеличение и разрешение системы, отсутствие вибраций, большая глубина резкости, правильная методика освещения объекта. Все это реализовано в цифровом микроскопе VHX-1000 (рис 1, 2).
Глубина резкости и рабочие расстояния зум-объективов Keyence
Зум-объективы Keyence очень просты в использовании (для смены увеличения достаточно повернуть кольцо трансфокатора) обладают глубиной резкости в разы большей, по сравнению с объективами традиционной световой микроскопии (для сравнения, глубина резкости объектива 20-200х при увеличении в 20х составляет 34 мм, а рабочее расстояние во всем диапазоне увеличений составляет 25,5 мм). Эти параметры упрощают работу исследователю, позволяя экономить на времени рутинных операций настройки, фокусировки и получения изображений (рис. 3, 4).
Цифровая камера 3CCD 54 мегапикселя
Первая в «мире цифровой микроскопии», 54 мегапиксельная камера позволяет получить RGB данные о каждом пикселе изображения, обладает высокой светочувствительностью (в три раза большей чем камеры 1CCD), что просто необходимо при работе с большими увеличениями. Это позволяет получить очень четкое изображение с превосходным цветовоспроизведением. Камера позволяет записывать видео файлы с частотой кадров 28 к/сек и высоким разрешением 1600х1200 px.
Антивибрационный штатив и штатив, позволяющий наклонять оптическую ось объектива
При большом увеличении вибрации, передающиеся на объектив или образец, крайне негативно сказываются на резкости получаемого изображения. Компания Keyence специально разработала антивибрационный штатив для работы с объективами увеличения 250–5000 крат.
При работе в среднем диапазоне увеличений важна мобильность инструмента, возможность изучить объект с разных сторон. С этой задачей прекрасно справляется штатив S-50, который позволяет наклонять ось объектива на произвольный угол от -60 до +90°C.
Возможность изучения 3D моделей
Цифровой микроскоп Keyence VHX-1000 позволяет получать трехмерные модели объектов. Это очень важно при измерении профиля поверхности (например, контактной дорожки микросхемы, углубления от твердомера, микро и макрорельефа, косого шлифа). На любом трехмерном изображении имеется возможность проводить измерения углов, расстояний и объемов (рис. 5, 6).
1. Дефект на кремниевой пластине (увеличение 5000 крат)

1. Дефект на кремниевой пластине (увеличение 5000 крат)

2. Многослойная структура микроконтроллера. 4 слоя. Применен метод композиции глубины – Z стек из нескольких изображений собран в один файл

2. Многослойная структура микроконтроллера. 4 слоя. Применен метод композиции глубины – Z стек из нескольких изображений собран в один файл

3. Номерной знак фальшивой банкноты.  При работе с объективом 20-200х возможно моментально изучить вид печатного устройства (в данном случае цветная лазерная печать)

3. Номерной знак фальшивой банкноты. При работе с объективом 20-200х возможно моментально изучить вид печатного устройства (в данном случае цветная лазерная печать)

4. Деформирующее резание. Задача получения изображений деформирующего резания крайне сложна. Поверхность металла создает блики, необходима большая глубина резкости. На микроскопе Keyence VHX-1000 возможно получение изображений даже таких сложных объектов

4. Деформирующее резание. Задача получения изображений деформирующего резания крайне сложна. Поверхность металла создает блики, необходима большая глубина резкости. На микроскопе Keyence VHX-1000 возможно получение изображений даже таких сложных объектов

5. След от твердомера на поверхности металла

5. След от твердомера на поверхности металла

6. Контактная площадка на корпусе СВЧ транзистора

6. Контактная площадка на корпусе СВЧ транзистора

Информация предоставлена Микросистемы, ООО, Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ