Инструменты нанотехнологий

K-Alpha. Интегрированный РФЭС спектрометр

K-ALPHA — полностью интегрированный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр (РФЭС), максимально компактный и простой в обращении прибор, сочетающий разумную цену с высокой функциональностью. Все процессы максимально автоматизированы, все операции проводятся без вмешательства пользователя (за исключением загрузки образца). Система комплектуется ионной пушкой с функцией зарядовой нейтрализации. 128-канальный анализатор для построения высококачественных спектральных карт. Автоматическая генерация отчёта.

Высочайшая аналитическая мощность, низкая стоимость, и компактные размеры сделали K-Alpha идеальным решением как для традиционных так и для новых областей анализа поверхности. Всего за год существования на рынке прибор стал чрезвычайно популярен в биомедицинских лабораториях и центрах наноматериалов по всему миру.

Конфигурация

Микрофокусный монохроматизированный РФЭС для быстрого и эффективного анализа

  • Определение химических состояний
  • Непрерывное изменение площади области исследования (от больших площадей до 30 мкм)
  • Неразрушающий анализ
  • Простое позиционирование
  • Картографирование поверхности, построение сечений в микромасштабе

Продвинутая электронная оптика, обеспечивающая максимальную точность и высокую пропускную способность

  • Новейшая конструкция линз
  • Анализатор высокого разрешения
  • Получение данных как в параллельном режиме, так и в режиме сканирования
  • Режим снимка для быстро картирования поверхности и профилирования по глубине
  • Превосходные пределы обнаружения для методики РФЭС

Точная навигация по поверхности образцая для полной уверенности в получаемых результатах

  • Максимальная точность позиционирования
  • Уникальная система подсветки
  • Запатентованная система наблюдения за образцом (используются 3 камеры)
  • Система отражающей оптики для поиска области интереса

Новейшая ионная пушка для оптимальных условий глубинного профилирования

  • Лучшее разрешение по глубине
  • Режим низкой энергии луча
  • Вращение образца
  • Режим высокого тока для максимальной пропускной способности
  • Автоматическая настройка и юстировка

Новая система компенсации заряда для исследования непроводящих образцов

  • Спектры высокого разрешения
  • Исследование любого типа образцов
  • Анализ больших и малых площадей поверхности
  • Вмещательство пользователя не требуется

Геометрия всех аналитических компонентов была учтена для того, чтобы оптимизировать работу прибора. Схему расположения указанных компонентов можно найти на рисунке. Система обладает несколькими важными особенностями:

Ось промежуточной линзы параллельна нормали поверхности образца, что обеспечивает максимальную эффективность сбора данных.
Оптика Reflex всегда обеспечивает линейное изображение анализируемого образца, также параллельное нормали образца. Это обеспечивает наилучшие условия для определения позиции образца с максимальной точностью.
Камера для установки высоты позволяет точно определить правильное положение образца при анализе малых площадей и правильную высоту для получения оптимальной чувствительности.
Рентгеновские лучи проходят через фокусирующий монохроматор. Это позволяет пользователю определить площадь анализа и обеспечивает максимальную чувствительность при анализе малых площадей.
Новая ионная пушка обеспечивает получение глубинных профилей с отличным глубинным разрешением. Она направляет пучок низкоэнергетических ионов на маленькую точку, что обуславливает сочетание хорошего разрешения с высокой скоростью анализа.
Новая заполняющая пушка разработана таким образом, что пользователю нужно только переключиться на нее, когда требуется анализ изоляторов. Никакая дополнительная юстировка или оптимизация не требуется.
Подсветка для образца очень важна для получения высококачественного изображения образца в реальном времени. Система K-Alpha оборудована осветителями двух типов. Один дает коаксиальное освещение для оптики Reflex, идеальное для образцов с гладкой поверхностью. Другой источник света дает неосевое освещение, которое идеально подходит для шероховатых образцов.
Аналитическая камера вырезана из цельного куска сплава никеля с железом. Это обеспечивает отличное магнитное экранирование. Точность изготовления сводит к минимуму необходимость юстировки компонентов. Для прокачки используется турбомолекулярный турбонасос, работающий в комбинации со спиральным насосом и сублимационным насосом.
Архитектура системы K-Alpha

Архитектура системы K-Alpha

Информация предоставлена INTERTECH Corporation. Московское представительство

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ