Инструменты нанотехнологий

Ionfab. Система ионно-лучевого травления и осаждения

Ионно-лучевые системы Ionfab позволяют реализовать как технологии ионно-лучевого травления так и технологии вакуумного осаждения с распылением мишени ионным пучком. Серия Ionfab находит применение в широком спектре приложений микроэлектроники, оптики, нанотехнологии и биомеханики.

Системы серии Ionfab представляют собой гибкую платформу для реализации ионно-лучевых технологий травления и осаждения.

Во всех системах серии Ionfab применяются плазменные ВЧ источники с нейтрализатором пучка. В зависимости от приложения могут использоваться источники диаметром 15 или 35 см и различные варианты формирующих сеток для получения оптимального пространственного распределения тока пучка.

Система Infab 300 plus может быть сконфигурирована как для задач ионно-лучевого травления, так и для задач осаждения с распылением мишени ионным пучком.

Помимо специализированных конфигураций для травления и осаждения, система Ionfab 300 plus предоставляет уникальную возможность совмещения двух технологий в одной установке. В этом случае система оснащается двумя источниками ионов.

Дополнительный ионный источник может использоваться для травления или очистки поверхности подложки перед осаждением, а также для ионного ассистирования в процессе осаждения.

Система Optofab 3000 является специализированной версией Ionfab 300 для осаждения прецизионных многослойных оптических покрытий.

Основной модуль установки Ionfab 300 plus полностью совместим по стандарту MESC. Модули Ionfab 300 plus могут использоваться в кластерной системе серии System 100 Pro или других кластерных системах совместимых со стандартом MESC.

Система Ionfab 500 является специализированной системой для осаждения прецизионных оптических покрытий с большой производительностью.

Конфигурации систем серии Ionfab для травления и осаждения
  Ionfab 300 plus Etch tool Ionfab 300 plus Deposition tool Optofab 3000 Ionfab 500
Реализуемые технологии IBE, RIBE, CAIBE IBSD, IASD IBSD IBSD
Загрузка шлюз или кассета шлюз или кассета шлюз или кассета без шлюза
Подложки до 100 мм (SC версия);
до 200 мм (LC версия)
до 100 мм (SC версия);
до 200 мм (LC версия)
до 200 мм 4х200 мм
Угол наклона подложки к оси от -90° до +75° от -90° до +75° от -90° до +75° нет
Диапазон температур от +10°С до +300°С от +10°С до +300°С от +10°С до +300°С нет
Ионный источник для травления, очистки ВЧ 15 см (SC версия);
ВЧ 35 см (LC версия)
ВЧ 15 см (SC версия);
ВЧ 35 см (LC версия)
нет нет
Ионный источник для распыления мишени нет ВЧ 15 см ВЧ 15 см ВЧ 15 см
Размер и количество мишеней нет до 4х200 мм до 4х200 мм до 3х350 мм
Линий газоподачи с РРГ до 8 до 8 до 8 до 8
Измеритель скорости осаждения на базе кварцевого кристалла нет да да да
Анализатор остаточной атмосферы (RGA) опция опция опция опция
Масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS) опция опция нет нет
Спектроско-пический оптический монитор (WLOM) нет опция опция опция
Вакуумная система ТМН / крио-насос ТМН / крио-насос крио-насос крио-насос
Система управления PC3000 PC3000 PC3000 PC3000

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена ИНТЕК, Technoinfo Limited

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ