Инструменты нанотехнологий

iMOXS. Модульный рентгеновский источник для µ-РФА с РЕМ

Приставка для Растровых Электронных Микроскопов iMOXS — это комбинация рентгеновского источника и рентгеновской оптики, которая позволяет существенно расширить возможности РЭМ в части микроанализа. iMOXS позволяет проводить рентгенофлуоресцентный микроанализ, а специальное программное обеспечение дает возможность осуществлять комбинированный анализ данных, полученных при рентгеноспектральном и рентгенофлуоресцентном микроанализе.

Сегодня микроанализ с помощъю электронного пучка является общепринятым как стандартный аналитический метод. Однако его чувствительность часто не достаточна, особенно для обнаружения микроэлементов. Это может быть объяснено высоким фоном тормозного излучения, который типичен для электронного возбуждения. Напротив, возбуждение образца с помощью рентгеновского излучения позволяет значительно уменьшить фон, но при этом не гарантируется хорошее разрешение.

Поликапиллярная фокусирующая рентгеновская оптика открывает новые перспективы для концентрации излучения рентгеновской трубки на маленькие пятна с диаметром в несколько десятков микрометров. Эта техника была уже успешно опробована в микрорентгенофлуоресцентном анализе.

При использовании такого источника возбуждения в комбинации с электронным микроскопом, производится возбуждение флюоресцентного излучения образца, которое фиксируется уже имеющимся энергидисперсионным детектором, например фирмы ОКСФОРД. Таким образом микрорентгенофлуоресцентный анализ становится возможным на электронном микроскопе. Модульный рентгеновский источник iMOX-РЕМ с поликапиллярной оптикой предоставляет такую возможность.

Аналитические свойства

При возбуждении образцов рентгеновским излучением значительно уменьшается непрерывный фон, при этом порог чувствительности повышается в 20–50 раз из-за высокого соотношения пика к фону.

Глубина проникновения рентгена в образец больше чем у электронного луча. В результате, в однородных объемных образцах происходит возбуждение большего объема, что приводит к лучшей статистике и достоверности результатов. Так же могут быть исследованы толстые слои или многослойные структуры.

Кроме того, непроводящие образцы тоже могут быть исследованы. При этом нет необходимости напылять проводящее покрытие, что значительно облегчает подготовку образцов.

Возможность использования как электронного, так и рентгеновского возбуждения позволяет объедининть полученную информацию от обоих методов, то есть, с одной стороны, возбуждения легких элементов электронным лучем и, с другой стороны, высокой чувствительности для микроэлементов — рентгеном. Такой комбинированный анализ призводит входящая в пакет программа iMOXS-Quant.

Дизайн модуля позволяет легко адаптировать его для РЭМ различных изготовителей (FEI, Hitachi, JEOL, TeScan, Zeiss и т.д.).

Основные характеристики iMOXS
Характеристика Standard Premium
Микрофокусная рентгеновская трубка
Материал анода Rh, опционально Mo, W, Ag
Диаметр пятна анода 50 мкм
Высокое напряжение (HV) 50 кВ, настройка с шагом 1 кВ
Мощность 30 Вт
Окно трубки из бериллия (Be), толщиной 100 мкм 8 мкм
Поликапиллярная оптика
Усиление интенсивности с фактором не менее 3000
Размер фокусного пятна в диапазоне 30–100 мкм
Максимум пропускания в диапазоне 7.5 — 10 кэВ в диапазоне 5 — 7.5 кэВ
Адаптация и спектры
Адаптация к электронному микроскопу Адаптация производится с помощъю переходника на все виды микроскопов. Необходимое условие адаптации — наличие свободного, не горизонтального порта.
Забор спектров Флюоресцентное излучение образца фиксируется уже имеющимся в наличии любым энергидисперсионным детектором, например фирмы ОКСФОРД.
Программное обеспечение
Программное обеспечение Под управлением ОС Windows ® (от версий Windows ® 2k / XP и выше) для контроля параметров трубки, а так же для управления заслонкой через компьютерный интерфейс
Пакет программ
  • для качественного и количественного анализа рентгено-флюоресцентных спектров
  • для комбинирования аналитических результатов рентгенофлюоресцентного и энергодисперсионного анализа
Читаемые форматы EDS-спектров EMSA/MSA (ISO 22029), EDAX spc

Информация предоставлена Евротек Дженерал, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ