Российская национальная нанотехнологическая сеть

Запомнить меня / Регистрация / Забыли пароль?
Поиск
Войти
Регистрация
Написать письмо
Карта сайта

Инструменты нанотехнологий

Главная страница / Каталог оборудования / EvoVac

EvoVac. Установка вакуумного напыления (PVD)

Производитель:
Angstrom Engineering Inc. (Канада)
Поставщик:
- МИНАТЕХ, ООО
Рубрикатор:
- Ионно-лучевая обработка
- Магнетронное напыление

Установка EvoVac самая большая из серии установок компании Angstrom Engineering Inc. и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом.

Система EvoVac — самая большая по размерам установка популярной линейки Åmod, имеющая большую гибкость по сравнению с другими. Большая дверь и увеличенные размеры камеры позволяют устанавливать большие по размеру источники. EvoVac предназначена для исследований, требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Описание

Процессы:: резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),; магнетронное напыление (sputter deposition),; электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),; ионное напыление (ion-assisted deposition)
Обзор:: Продвинутая система управления на базе ПК; Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция); Длинная дистанция между источниками и подложкой; Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция); Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика; Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере; 1600х1000 мм — площадь занимаемая системой; 660x660x500 мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера); Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов; Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления; Диаметр обрабатываемых подложек до 300 мм (пластины большего диаметра по запросу); Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция); Обучение работе на системе на заводе; 1 год гарантии
Контроль вакуума:: Автоматический форвакуумный насос; Сухие насосы (опция); Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом; Крио насосы (опция); Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:: теневая маска и выравнивание подложки; легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса; датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом; конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава); QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников; Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления; Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку; Планетарное вращение, напыление под углом