Инструменты нанотехнологий

EvoVac. Установка вакуумного напыления (PVD)

Установка EvoVac самая большая из серии установок компании Angstrom Engineering Inc. и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом.

Система EvoVac — самая большая по размерам установка популярной линейки Åmod, имеющая большую гибкость по сравнению с другими. Большая дверь и увеличенные размеры камеры позволяют устанавливать большие по размеру источники. EvoVac предназначена для исследований, требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Описание

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),
магнетронное напыление (sputter deposition),
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Обзор:
Продвинутая система управления на базе ПК
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция)
Длинная дистанция между источниками и подложкой
Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция)
Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика
Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере
1600х1000 мм — площадь занимаемая системой
660x660x500 мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов
Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления
Диаметр обрабатываемых подложек до 300 мм (пластины большего диаметра по запросу)
Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
Обучение работе на системе на заводе
1 год гарантии
Контроль вакуума:
Автоматический форвакуумный насос
Сухие насосы (опция)
Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
Крио насосы (опция)
Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
теневая маска и выравнивание подложки
легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления
Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку
Планетарное вращение, напыление под углом

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ