Инструменты нанотехнологий

Covap II. Установка вакуумного напыления (PVD)

Компактная установка COVAP II для вакуумного напыления в НИОКР. Бюджетная система. Может оснащаться перчаточным боксом.

Covap II — компактная экономичная установка для проведения множества процессов осаждения. Covap II конфигурируется устройством с обратной связью для управления процессами соосаждения, системой хранения рецептов и уникальной складной камерой для улучшенного доступа. Если процесс требует контроля окружающей среды, Covap II сконструирована таким образом, что на нее можно установить новый или существующий перчаточный бокс.

Описание

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) — до 4-х источников,
магнетронное напыление (sputter deposition)
Обзор:
Вакуумный колпак системы позволяет легко открывать камеру для беспрепятственного доступа для снятия экранов (заслонок) и подготовки системы для следующего процесса.
Конструкция готова к интегрированию в перчаточный бокс
Компактный дизайн (габариты размещения на полу — 600х1000 мм)
Возможность выбора из 2-ух или 4-х конфигураций источников
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов
Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления
Диаметр обрабатываемых подложек до 100 мм с возможностью обеспечения различных скоростей вращения
Обучение работе на системе на заводе
2 года гарантии
Контроль вакуума:
Автоматический форвакуумный насос
Сухие насосы (опция)
Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
Теневая маска и выравнивание подложки
Легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
Датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
Конфигурация для реализации процесса соосаждения — co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
Широкополосный источник 2,5 кВА обеспечивает возможность контроля и управления как для процессов требующих низких температур при напылении (органически пленки) так и для процессов напыления металлов, проходящих при высоких температурах
Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ