Инструменты нанотехнологий

BAK-901 EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-901 EVATEC для микроэлектроники, прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

С размерами партий 51 (4') и 23 (6») подложки в стандартной калотте вакуумная система напыления ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного ичтоника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.

Основные возможности

  • Работа с большими партиями
  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
  • Кварцевый и оптический мониторинг
  • Анализатор остаточного газа
  • Оптическая пирометрия
  • Полная SECS GEM совместимость

Геометрия вакуумной камеры:

  • Стандартная камера — для типичных металлов и диэлектриков
  • Увеличенная дистанция — для Lift-off
  • Отдельный шлюз для источников испарения — для удобства обслуживания
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

  • Стандартные сферические
  • С возможностью переворота
  • Планетарные с 1-ой и 2-мя осями вращения
  • Разработка спец оснастки

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ