Инструменты нанотехнологий

BAK-761 EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-761 EVATEC для микроэлектроники, прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, «Lift-off» и напыление диэлектриков все это — может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761.

Основные возможности

  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом

Контроль процесса:

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
  • Кварцевый и оптический мониторинг
  • Анализатор остаточного газа
  • Оптическая пирометрия
  • Полная SECS GEM совместимость

Геометрия вакуумной камеры:

  • Стандартная камера — для типичных металлов и диэлектриков
  • Увеличенная дистанция — для Lift-off
  • Отдельный шлюз для источников испарения — для удобства обслуживания
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

  • Стандартные сферические
  • С возможностью переворота
  • Планетарные с 1-ой и 2-мя осями вращения
  • Разработка спец оснастки

Производительность с различными типами подложкодержателей:

  • 2« wafers = 152 pcs
  • 3« wafers = 64 pcs
  • 4« wafers = 40 pcs
  • 6« wafers = 18 pcs
  • 8« wafers = 9 pcs

Split Systems

Техническое решение компании Evatec Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах.

Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки — выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.

Основные возможности:

  • Высокая стабильность работы испарителя.
  • Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением.
  • Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды.
  • Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ