Инструменты нанотехнологий

BAK-501 EVATEC. Вакуумная система напыления

ООО «ТБС» предлагает вакуумную систему напыления BAK-501 EVATEC для прецизионной оптики и оптоэлектроники от компании EVATEC (Швейцария).

Вакуумная система напыления BAK 501 идеально подходит для разработки процессов напыления и мелкосерийных производств, при этом возможности установки включают весь потенциал старших моделей линейки BAK.

Компактность, функциональность и приемлемая стоимость выгодно выделяют BAK 501 на фоне конкурентов. Использование одной конфигурируемой платформы управления позволяет легко адаптировать систему к уже отработанным процессам. BAK 501 может быть легко переконфигурирован для реализации новых идей.

Основные возможности

  • Электронно-лучевая пушка
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом
  • Ионный источник
  • Держатели и системы крепления подложек в соответствии с требованиями заказчика

Контроль процесса:

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
  • Кварцевый и оптический мониторинг.
  • Анализатор остаточного газа.
  • Полная SECS GEM совместимость.

Производительность:

  • 2” wafers = 32 pcs
  • 3” wafers = 20 pcs
  • 4” wafers = 8 pcs
  • 6” wafers = 4 pcs
  • 8” wafers = 3 pcs

Split Systems

Техническое решение компании Evatec Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах.

Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.

Основные возможности:

  • Высокая стабильность работы испарителя.
  • Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением.
  • Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды.
  • Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание.

Информация предоставлена ТБС, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ