Инструменты нанотехнологий

AS-One. RTP печь быстрых термических процессов

МИНАТЕХ предлагает установку быстрых термических процессов (RTP) с холодными стенками для обработки пластин диаметром до 4–6 дюймов (100–150 мм) от компании ANNEALSYS (Франция).

Система быстрых термических процессов с холодными стенками AS-One используется в лабораториях и мелкосерийных производствах.

Спецификация и описание:
Быстрая термическая обработка пластин диаметром 4" и 6"
Компактная напольная конфигурация для экономии места
Высокая надежность и низкая стоимость владения
Технология холодных стенок из нержавеющей стали
Высокая воспроизводимость процесса
Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений
Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти
Высоковакуумная версия (10-6 Торр) доступна
Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
Пирометр и термопара для контроля температуры
Быстрый цифровой контроллер температуры PID
Исполнение и характеристики:
Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1500°C (в зависимости от версии)
Скорость нагрева до 200°C/сек
Скорость охлаждения: 100°C/сек со специальным оборудованием
Возможность смешивать процессные газы
Контроллеры массового расхода газа
Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом
Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур
Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows
Применение:
Быстрый термический отжиг (RTA — Rapid Thermal Annealing),
Быстрое термическое окисление (RTO — Rapid Thermal Oxidation)
Диффузия, отжигконтактов
Послеимплантационный отжиг
Отжиг соединений полупроводников
Нитридизация, силицидирование, сульфиризация и селенизация
Кристализация, загустевание и др.

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ