Инструменты нанотехнологий

Amod. Установка вакуумного напыления

Установки вакуумного напыления AMOD компании Angstrom Engineering Inc. для исследований в области напыления тонких пленок. Могут оснащаться перчаточным боксом.

Системы линейки Åmod удовлетворяют самым продвинутым требованиям заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Åmod могут быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства Angstrom Engineering объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.

Описание

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),
магнетронное напыление (sputter deposition),
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),
ионное напыление (ion-assisted deposition)
Обзор:
Продвинутая система управления на базе ПК
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция)
Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция)
Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика
Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере
площадь занимаемая системой 1600х1000 мм
камера с выдвижной дверью на петлях 475x475x500 мм (возможна D-образная камера)
Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов
Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления
Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу)
Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
Обучение работе на системе на заводе
1 год гарантии
Контроль вакуума:
Автоматический форвакуумный насос
Сухие насосы (опция)
Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
Крио насосы (опция)
Пневматически воздушный фильтр
Управление процессом осаждения:
теневая маска и выравнивание подложки
легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
конфигурация для реализации процесса соосаждения — co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления
Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку
Планетарное вращение, напыление под углом

Дополнительные материалы:

Информация предоставлена МИНАТЕХ, ООО

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ