Инструменты нанотехнологий

FlexAL. Система атомно слоевого осаждения (ALD)

Система FlexAL предоставляет уникальные возможности для разработки наноразмерных структур и приборов. FlexAL реализует процессы атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации. Возможна обработка пластин диаметром вплоть до 200 мм.

FlexAL — многофункциональная система со шлюзовой или кассетной загрузкой подложек, предназначенная для проведения исследовательских работ и организации мелкосерийного производства в приложениях наноэлектроники, микромеханики, биомеханики, фотовольтаики и топливных элементов.

Система FlexAL реализует как технологию «классического» (термического) атомно-слоевого осаждения (Thermal ALD), так и технологию атомно-слоевого осаждения с удаленным источником плазмы (Remote Plasma ALD).

Использование стандарта MESC позволяет включать FlexAL в кластерную систему серии System 100Pro или другие кластерные системы.

Конфигурации FlexAL
  FlexALRP
RP-ALD
FlexALRPT
ALD/RP-ALD
FlexALRPX
ALD/RP-ALD
Загрузка шлюз шлюз шлюз
Перчаточный бокс для модуля подготовки прекурсоров опция есть есть
Подложки до 200 мм до 200 мм до 200 мм
Диапазон температур от +25°С до +400°С от +25°С до +400°С от +25°С до +400°С;
550°С (опция)
Порты для эллипсометра есть есть есть
Возбуждение плазмы ВЧ ВЧ ВЧ
Линий газоподачи с РРГ до 5-ти линий во внешнем блоке до 5-ти линий во внешнем блоке до 7-ми линий во внешнем блоке
Порт для подготовки и подачи H2O опция опция опция
Прогреваемые порты для жидких и твердых прекурсоров до 2-х до 3-х до 4-х
Максимальная температура прогрева емкости с прекурсором +200°С +200°С +200°С
Вакуумная система ТМН ТМН с байпасом для работы в режиме термического ALD ТМН с байпасом для работы в режиме термического ALD
Система управления PC2000 PC2000 PC2000
FlexAL реализует процессы атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации

FlexAL реализует процессы атомно-слоевого осаждения с удаленной плазмой и термическое ALD в максимально гибкой конфигурации

Информация предоставлена Technoinfo Limited, ИНТЕК

Отправить сообщение представителю компании

2 9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Z А Б В Г Д Е И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Э ВСЕ